Het proces van holle-kathode-ioncoating verloopt als volgt:
1. Plaats de Chin-staven in de instorting.
2. Het werkstuk monteren.
3. Nadat de vacuümdruk is verlaagd tot 5×10-3Pa, wordt argongas vanuit de zilveren buis in de coatingkamer gebracht. Het vacuümniveau bedraagt nu ongeveer 100Pa.
4. Schakel de biasvoeding in.
5. Nadat de boogvoeding is ingeschakeld om de holle kathodeontlading te ontsteken. De gloei-ontlading wordt gegenereerd in de knoopbuis. De ontladingsspanning is 800~1000V, De boogverhogende stroom is 30~50A. Vanwege het holle kathode-effect van de gloei-ontlading, Hoge gloei-ontladingsstroomdichtheid, De hoge dichtheid van rat-ionen in de zilveren buis bombardeert de wand van de vantage-buis, Zorgt ervoor dat de buiswand snel opwarmt door de emissie van elektronenstroom, de ontladingsmodus van de gloei-ontlading verandert plotseling in boogontlading, Spanning is 40~70V, Stroom is 80~300A. De temperatuur van de zilveren buis bereikt boven 2300K, Gloeiend, Zendt een hoge dichtheidsstroom van boogelektronen uit de buis uit en schiet naar de anode.
6. Aanpassing van het vacuümniveau. Het vacuümniveau voor de gloeiontlading van het holle-kathodekanon is ongeveer 100 Pa, en de vacuümgraad van de coating is 8 × 10-1 ~ 2 Pa. Daarom, na ontsteking van de boogontlading, moet het binnenkomende argongas zo snel mogelijk worden verminderd en moet het vacuümniveau worden aangepast naar een bereik dat geschikt is voor de coating.
7. Met titanium geplateerde basislaag. Elektronenstroom op de anodisch ingezakte Chin-metaalstaaf. Omzetting van kinetische energie in thermische energie. Verdamping van Chin-metaal door verhitting. Dampatomen bereiken het werkstuk en vormen een titaniumfilm.
8. Depositie van TiN. Stikstofgas wordt naar de coatingkamer gevoerd. Stikstofgas en verdampt atomen worden geïoniseerd tot stikstof- en titaniumionen. Boven de kroes. Hogere waarschijnlijkheid van inelastische botsingen van titaniumdampatomen met dichte stromen elektronen met lage energie. De metaaldissociatiesnelheid is maar liefst 20%~40%. Titaniumionen reageren eerder chemisch met het reactiegas stikstof. Depositie om een nitridemantelfilmlaag te verkrijgen. Het hollekathodekanon is zowel een verdampingsbron als een andere ionisatiebron. Tijdens het coaten moet ook de stroom van de elektromagnetische spoel rond de kroes worden aangepast. Focus de elektronenbundel op het midden van de ineenstorting. Hierdoor wordt de vermogensdichtheid van de elektronenstroom verhoogd.
9. Schakel het apparaat uit. Nadat de filmdikte de vooraf bepaalde filmdikte heeft bereikt, schakelt u de boogvoeding, de biasvoeding en de luchttoevoer uit.
Plaatsingstijd: 08-07-2023