Indiumtinoxide (indiumtinoxide, afgekort tot ITO) is een n-type halfgeleidermateriaal met een brede bandkloof, een hoge transmissie voor zichtbaar licht en een lage soortelijke weerstand. Het wordt daarom veel gebruikt in zonnecellen, platte beeldschermen, elektrochrome vensters, anorganische en organische dunnefilm-elektroluminescentie, laserdiodes, ultraviolette detectoren en andere fotovoltaïsche apparaten, enz. Er bestaan veel methoden voor de bereiding van ITO-films, waaronder gepulste laserdepositie, sputteren, chemische dampdepositie, sproeithermische ontleding, sol-gel, verdamping, enz. Van de verdampingsmethoden is elektronenbundelverdamping de meest gebruikte.
Er zijn vele manieren om ITO-film te bereiden, waaronder gepulste laserdepositie, sputteren, chemische dampdepositie, sproeipyrolyse, sol-gel, verdamping, enzovoort. De meest gebruikte verdampingsmethode is elektronenbundelverdamping. Verdampingsbereiding van ITO-films kan doorgaans op twee manieren plaatsvinden: de eerste is het gebruik van een zeer zuivere In, Sn-legering als bronmateriaal, in de zuurstofatmosfeer voor de reactieverdamping; de tweede is het gebruik van een zeer zuiver In2O3:, SnO2-mengsel als bronmateriaal voor directe verdamping. Om een film met een hoge transmissie en lage soortelijke weerstand te produceren, is over het algemeen een hogere substraattemperatuur of een daaropvolgende gloeiing van de film vereist. HR Fallah et al. gebruikten de elektronenbundelverdampingsmethode bij lage temperaturen om dunne ITO-films af te zetten en het effect van de depositiesnelheid, gloeitemperatuur en andere procesparameters op de structuur van de film, elektrische en optische eigenschappen te bestuderen. Ze wezen erop dat het verlagen van de depositiesnelheid de transmissie zou kunnen verhogen en de soortelijke weerstand van de bij lage temperatuur gegroeide films zou kunnen verlagen. De transmissie van zichtbaar licht is meer dan 92% en de soortelijke weerstand is 7X10-4Ωcm. Ze gloeiden de ITO-films die gegroeid waren bij kamertemperatuur van 350~550℃ en ontdekten dat hoe hoger de gloeitemperatuur was, hoe beter de kristallijne eigenschappen van ITO-films. De transmissie van zichtbaar licht van de films na gloeien bij 550℃ is 93% en de korrelgrootte is ongeveer 37nm. De plasma-ondersteunde methode kan ook de substraattemperatuur verlagen tijdens de filmvorming, wat de belangrijkste factor is bij de vorming van de film, en de kristalliniteit is ook de belangrijkste. De plasma-ondersteunde methode kan ook de substraattemperatuur verlagen tijdens de filmvorming, en de ITO-film verkregen uit de depositie presteert goed. De soortelijke weerstand van de ITO-film bereid door S. Laux et al. is zeer laag, 5*10-”Ωcm, en de absorptie van licht bij 550nm is minder dan 5%, en de soortelijke weerstand van de film en de optische bandbreedte worden ook veranderd door de zuurstofdruk te veranderen tijdens de afzetting.
–Dit artikel is gepubliceerd doorfabrikant van vacuümcoatingmachinesGuangdong Zhenhua
Plaatsingstijd: 23-03-2024