Il-proċess tal-kisi tal-jone katodu vojt huwa kif ġej:
1. Poġġi l-ingotti Chin fil-kollass.
2. Immuntar tal-biċċa tax-xogħol.
3. Wara li titneħħa l-vakwu għal 5 × 10-3Pa, il-gass tal-argon jiġi introdott fil-kompartiment tal-kisi mit-tubu tal-fidda, u l-livell tal-vakwu huwa ta' madwar 100Pa.
4. Ixgħel il-qawwa tal-preġudizzju.
5. Wara li tixgħel l-ark biex tqabbad l-iskarika tal-katodu vojt. L-iskarika tad-dawl tiddix tiġi ġġenerata fit-tubu tal-buttuna. Il-vultaġġ tal-iskarika huwa 800 ~ 1000V, il-kurrent li jqajjem l-ark huwa 30 ~ 50A. Minħabba l-effett tal-katodu vojt tal-iskarika tad-dawl, id-densità għolja tal-kurrent tal-iskarika tad-dawl, id-densità għolja tal-joni tar-raġġi fit-tubu tal-fidda tibbumbardja l-ħajt tat-tubu vantaġġjuż, tagħmel il-ħajt tat-tubu jisħon malajr għall-emissjoni tal-fluss tal-elettroni, il-mod tal-iskarika mill-iskarika tad-dawl jinbidel f'daqqa għal skarika tal-ark. Il-vultaġġ huwa 40 ~ 70V, il-kurrent huwa 80 ~ 300A. It-temperatura tat-tubu tal-fidda tilħaq 'il fuq minn 2300K, inkandexxenti, jarmi nixxiegħa ta' elettroni tal-ark ta' densità għolja mit-tubu, u sparati lejn l-anodu.
6. Aġġustament tal-livell tal-vakwu. Il-livell tal-vakwu għall-iskarika tad-dawl minn pistola katodika vojta huwa ta' madwar 100 Pa, u l-grad tal-vakwu tal-kisi huwa ta' 8 × 10-1 ~ 2Pa. Għalhekk, wara li tinxtegħel l-iskarika tal-ark, naqqas il-gass argon li jkun dieħel mill-aktar fis possibbli, u aġġusta l-livell tal-vakwu għal firxa adattata għall-kisi.
7. Saff bażi miksi bit-titanju. Fluss ta' elettroni fuq l-ingott tal-metall Chin anodiku mxaqleb, Konverżjoni ta' enerġija kinetika għal enerġija termali, Evaporazzjoni tal-metall Chin permezz tat-tisħin, Atomi tal-fwar jilħqu l-biċċa tax-xogħol biex jiffurmaw film tat-titanju.
8. Depożizzjoni tat-TiN. Il-gass tan-nitroġenu jiġi fornut lill-kompartiment tal-kisi. Il-gass tan-nitroġenu u l-atomi evaporati jiġu jonizzati f'nitroġenu u joni tat-titanju. 'Il fuq mill-griġjol, Probabbiltà ogħla ta' ħabtiet inelastiċi ta' atomi tal-fwar tat-titanju ma' flussi densi ta' elettroni ta' enerġija baxxa. Ir-rata ta' dissoċjazzjoni tal-metall hija għolja daqs 20% ~ 40%. Il-joni tat-titanju huma aktar probabbli li jirreaġixxu kimikament man-nitroġenu tal-gass tar-reazzjoni. Depożizzjoni biex jinkiseb saff ta' film tal-mantell tan-nitrur. Il-pistola katodika vojta hija kemm sors ta' vaporizzazzjoni kif ukoll sors ieħor ta' jonizzazzjoni. Matul il-kisi, Il-kurrent tal-kolja elettromanjetika madwar il-griġjol għandu wkoll jiġi aġġustat. Iffoka r-raġġ tal-elettroni fiċ-ċentru tal-kollass, B'hekk, id-densità tal-qawwa tal-fluss tal-elettroni tiżdied.
9. Itfi l-Enerġija. Wara li l-ħxuna tal-film tilħaq il-ħxuna predeterminata tal-film, itfi l-provvista tal-enerġija tal-ark, il-provvista tal-enerġija tal-polarizzazzjoni u l-provvista tal-arja.
Ħin tal-pubblikazzjoni: 08 ta' Lulju 2023