Proses salutan ion katod berongga

Proses salutan ion katod berongga adalah seperti berikut:

1、Masukkan jongkong Dagu ke dalam runtuh.

2、Memasang bahan kerja.

3、Selepas berpindah ke 5×10-3Pa, gas argon dimasukkan ke dalam ruang salutan dari tiub perak, dan paras vakum adalah sekitar 100Pa.

4、Hidupkan kuasa bias.

5、Selepas menghidupkan kuasa arka untuk menyalakan nyahcas katod berongga. Nyahcas cahaya dijana dalam tiub butang, Voltan nyahcas ialah 800~1000V, Arus menaikkan arka ialah 30~50A. Disebabkan oleh kesan katod berongga nyahcas cahaya, Ketumpatan cahaya ketumpatan tinggi pada dinding tiub ketumpatan tinggi. daripada tiub vantage, Jadikan dinding tiub cepat memanaskan sehingga pelepasan aliran elektron, mod nyahcas daripada nyahcas cahaya bertukar secara tiba-tiba kepada nyahcas arka, Voltan ialah 40~70V, Arus ialah 80~300A. Suhu tiub perak mencecah melebihi 2300K, arus pijar daripada aliran tiub dan ketumpatan tinggi.

6、Pelarasan aras vakum.Tahap vakum untuk nyahcas cahaya daripada pistol katod berongga ialah kira-kira 100 Pa,Dan tahap salutan vakum ialah 8×10-1~2Pa.Oleh itu,Selepas penyalaan nyahcas arka,Kurangkan paras argon yang masuk secepat mungkin untuk salutan vakum,Laraskan julat yang sesuai.

7、Lapisan asas bersalut titanium. Aliran elektron ke jongkong logam Chin yang runtuh secara anodik, Penukaran tenaga kinetik kepada tenaga haba, Penyejatan logam Chin dengan pemanasan, Atom wap mencapai bahan kerja untuk membentuk filem titanium.

8、Pemendapan TiN. Gas nitrogen dibekalkan ke ruang salutan, Gas nitrogen dan atom tersejat diionkan menjadi ion nitrogen dan titanium. Di atas mangkuk pijar, Kebarangkalian lebih tinggi untuk perlanggaran tak kenyal bagi atom wap titanium dengan aliran tumpat elektron tenaga rendah, Kadar penceraian 0% logam ialah 0% adalah 0%. lebih berkemungkinan untuk bertindak balas secara kimia dengan gas nitrogen tindak balas, Pemendapan untuk mendapatkan lapisan filem mantel nitrida. Pistol katod berongga adalah kedua-dua sumber pengewapan，Satu lagi sumber pengionan.Semasa salutan,Arus gegelung elektromagnet di sekeliling pijar juga perlu dilaraskan,Fokuskan pancaran elektron ke pusat keruntuhan, maka ketumpatan elektron meningkat.

9、Matikan Kuasa.Selepas ketebalan filem mencapai ketebalan filem yang telah ditetapkan,Matikan bekalan kuasa arka、Bekalan kuasa berat sebelah dan bekalan udara.