पोकळ कॅथोड आयन कोटिंगची प्रक्रिया

पोकळ कॅथोड आयन कोटिंगची प्रक्रिया खालीलप्रमाणे आहे:

१, चिनचे पिल्लू कोसळण्याच्या ठिकाणी घाला.

२, वर्कपीस बसवणे.

३, ५×१०-३Pa पर्यंत बाहेर काढल्यानंतर, चांदीच्या नळीतून आर्गॉन वायू कोटिंग चेंबरमध्ये प्रवेश केला जातो आणि व्हॅक्यूम पातळी सुमारे १००Pa असते.

४, बायस पॉवर चालू करा.

५, पोकळ कॅथोड डिस्चार्ज प्रज्वलित करण्यासाठी आर्क पॉवर चालू केल्यानंतर. बटण ट्यूबमध्ये ग्लो डिस्चार्ज निर्माण होतो, डिस्चार्ज व्होल्टेज ८००~१०००V आहे, आर्क-रेझिंग करंट ३०~५०A आहे. ग्लो डिस्चार्जच्या पोकळ कॅथोड इफेक्टमुळे, उच्च ग्लो डिस्चार्ज करंट घनता, सिल्व्हर ट्यूबमधील रॅट आयनची उच्च घनता व्हँटेज ट्यूबच्या भिंतीवर बॉम्बफेक करते, ट्यूबची भिंत इलेक्ट्रॉन प्रवाहाच्या उत्सर्जनापर्यंत वेगाने गरम होते, ग्लो डिस्चार्जमधून डिस्चार्ज मोड अचानक आर्क डिस्चार्जमध्ये बदलतो, व्होल्टेज ४०~७०V आहे, करंट ८०~३००A आहे. सिल्व्हर ट्यूबचे तापमान २३००K पेक्षा जास्त पोहोचते, इनकॅन्डेसेंट, ट्यूबमधून आर्क इलेक्ट्रॉनचा उच्च घनता प्रवाह उत्सर्जित करते आणि एनोडवर शूट करते.

६, व्हॅक्यूम लेव्हलचे समायोजन. पोकळ कॅथोड गनमधून ग्लो डिस्चार्जसाठी व्हॅक्यूम लेव्हल सुमारे १०० पाउंड आहे आणि कोटिंगची व्हॅक्यूम डिग्री ८×१०-१~२ पाउंड आहे. म्हणून, आर्क डिस्चार्ज प्रज्वलित झाल्यानंतर, येणारा आर्गॉन वायू शक्य तितक्या लवकर कमी करा, व्हॅक्यूम लेव्हल कोटिंगसाठी योग्य असलेल्या श्रेणीत समायोजित करा.

७, टायटॅनियम प्लेटेड बेस लेयर. एनोडिकली कोलॅप्स्ड चिन मेटल इंगॉटवर इलेक्ट्रॉन प्रवाह, गतिज ऊर्जेचे थर्मल एनर्जीमध्ये रूपांतर, गरम करून चिन मेटलचे बाष्पीभवन, बाष्प अणू वर्कपीसवर पोहोचून टायटॅनियम फिल्म तयार करतात.

८, TiN चे निक्षेपण. नायट्रोजन वायू कोटिंग चेंबरमध्ये पुरवला जातो, नायट्रोजन वायू आणि बाष्पीभवन झालेले अणू नायट्रोजन आणि टायटॅनियम आयनमध्ये आयनीकृत केले जातात. क्रूसिबलच्या वर, कमी-ऊर्जा इलेक्ट्रॉनच्या दाट प्रवाहांसह टायटॅनियम वाष्प अणूंच्या लवचिक टक्करांची उच्च शक्यता, धातूचे पृथक्करण दर २०%~४०% इतका जास्त आहे., टायटॅनियम आयन प्रतिक्रिया वायू नायट्रोजनसह रासायनिक प्रतिक्रिया करण्याची शक्यता जास्त असते, नायट्राइड आवरण फिल्म थर मिळविण्यासाठी निक्षेपण. पोकळ कॅथोड गन दोन्ही बाष्पीभवन स्रोत आहे, आयनीकरणाचा आणखी एक स्रोत. कोटिंग दरम्यान, क्रूसिबलभोवती इलेक्ट्रोमॅग्नेटिक कॉइलचा प्रवाह देखील समायोजित केला पाहिजे, इलेक्ट्रॉन बीमला कोसळण्याच्या मध्यभागी केंद्रित करा, अशा प्रकारे, इलेक्ट्रॉन प्रवाहाची शक्ती घनता वाढते.

९, पॉवर बंद. फिल्मची जाडी पूर्वनिर्धारित फिल्म जाडीपर्यंत पोहोचल्यानंतर, आर्क पॉवर सप्लाय, बायस पॉवर सप्लाय आणि एअर सप्लाय बंद करा.