Хоосон катодын ион бүрэх үйл явц дараах байдалтай байна.
1、Чиний ембүүг нуралтанд хийнэ.
2、Бэлдэцийг суурилуулах.
3、5×10-3Па хүртэл нүүлгэн шилжүүлсний дараа аргон хий нь мөнгөн хоолойноос бүрэх камерт орох ба вакуум түвшин 100Па орчим байна.
4、Хязгаарлалтын хүчийг асаана уу.
5、Нумын хүчийг асаасны дараа катодын хөндийн цэнэгийг асаана. Гялалзах цэнэг нь товчлуурын хоолойд үүсдэг.Цахилгааны хүчдэл 800~1000V, Нуман өсгөх гүйдэл 30~50А байна. Гялалзах гүйдлийн хөндий катодын нөлөөллөөс болж, Гялалзах гүйдэл өндөр, Мөнгөний хоолой нь хоолойн ханыг бөмбөгдөж, электрон урсгалын ялгаралт хүртэл хоолойн ханыг хурдан дулаацуулж, гэрэлтэх цэнэгийн гүйдлийн горимыг нуман цэнэг болгон хувиргах, Хүчдэл 40 ~ 70 В, Гүйдэл 80 ~ 300 А. Мөнгөн хоолойн температур 2300К-аас дээш, улайсдаг туяа, цахилгаан туяа, цахилгаан туяа. анод руу буудсан.
6、Вакуум түвшний тохируулга. Хөндий катодын буунаас гэрэл ялгарах вакуум түвшин 100 Па орчим, бүрэх вакуум зэрэг нь 8×10-1~2 Па байна. Иймд нуман цэнэг ассаны дараа орж ирж буй аргоны хийн хэмжээг аль болох богино хугацаанд багасгаж, вакуумыг тохируулна.
7、Титан бүрсэн суурь давхарга. Анодоор нурсан эрүүний металл ембүү дээр электрон урсах, кинетик энергийг дулааны энерги болгон хувиргах, Халаах замаар эрүүний металлыг ууршуулах, Уурын атомууд ажлын хэсэгт хүрч титан хальс үүсгэдэг.
8、TiN-ийн хуримтлал.Азотын хий нь бүрэх камерт хангагдана.Азотын хий болон ууршсан атомууд нь азот, титан ионууд болж иончлогдоно.Тигелийн дээгүүр,Титаны уурын атомууд цахилгаанжилтын нягт урсгал бүхий уян хатан бус мөргөлдөөн үүсэх магадлал өндөр, металлын энерги багатай тул эрчим хүчний ялгаралт өндөр байдаг. 20% ~ 40%., Титаны ионууд нь азотын хийн урвалд химийн урвалд орох магадлал өндөр байдаг, Нитридын мантийн хальсыг олж авахын тулд хуримтлуулах. Хөндий катод буу нь аль аль нь ууршилтын эх үүсвэр юм, Ионжуулалтын өөр нэг эх үүсвэр юм. Бүрэх явцад, Тигелийн эргэн тойронд цахилгаан соронзон ороомгийн гүйдэл мөн цахилгааны төв хэсэгт тохируулагдсан байх ёстой. уналт,Тиймээс электрон урсгалын эрчим хүчний нягт нэмэгддэг.
9、Ачаа унтарна. Киноны зузаан нь урьдчилан тогтоосон зузаанд хүрсний дараа нуман тэжээлийн хангамжийг унтраана, цахилгаан хангамж болон агаарын хангамжийг хазайна.
Шуудангийн цаг: 2023-07-08