Инди цагаан тугалганы исэл (Индиум цагаан тугалганы исэл, ITO гэж нэрлэдэг) нь өргөн зурвасын завсартай, их хэмжээний хольцтой n төрлийн хагас дамжуулагч материал бөгөөд харагдахуйц гэрлийн дамжуулалт өндөр, эсэргүүцлийн шинж чанар багатай тул нарны зай, хавтгай дэлгэц, цахилгаан хром цонх, органик бус болон органик филм, электролиз, филфилмод өргөн хэрэглэгддэг. хэт ягаан туяаны мэдрэгч болон бусад фотоволтайк төхөөрөмж гэх мэт.ИТО хальс бэлтгэх олон арга байдаг бөгөөд үүнд импульс лазерын хуримтлал, цацах, химийн уурын тунадас, шүрших дулааны задрал, соль-гель, ууршилт гэх мэт.Ууршилтын аргуудаас электрон цацрагийн ууршилт хамгийн түгээмэл хэрэглэгддэг.
ITO хальс бэлтгэх олон арга байдаг бөгөөд үүнд импульсийн лазерын хуримтлал, шүрших, химийн уурын хуримтлал, шүрших пиролиз, золь-гель, ууршилт гэх мэт аргууд байдаг бөгөөд эдгээрээс хамгийн өргөн хэрэглэгддэг ууршилтын арга нь электрон цацрагийн ууршилт юм. ITO хальсыг ууршуулах бэлтгэл нь ихэвчлэн хоёр арга замтай байдаг: нэг нь хүчилтөрөгчийн агаар мандалд өндөр цэвэршилттэй In, Sn хайлшийг эх материал болгон ашиглах явдал юм. хоёр дахь нь өндөр цэвэршилттэй In2O3:, SnO2 хольцыг шууд ууршуулах эх материал болгон ашиглах явдал юм. Өндөр дамжуулалттай, бага эсэргүүцэлтэй кино хийхийн тулд ерөнхийдөө субстратын өндөр температур эсвэл хальсыг дараа нь бэхлэх шаардлагатай байдаг. HR Fallah et al. бага температурт электрон цацрагийн ууршилтын аргыг ашиглан ITO нимгэн хальсыг хуримтлуулах, тунадасжилтын хурд, зөөлрүүлэх температур болон бусад процессын параметрүүдийн хальсны бүтэц, цахилгаан болон оптик шинж чанарт үзүүлэх нөлөөг судлахад ашигласан. Тэд хуримтлуулах хурдыг бууруулснаар бага температурт ургасан хальсны дамжуулалтыг нэмэгдүүлж, эсэргүүцэх чадварыг бууруулж чадна гэж тэд онцолсон. Үзэгдэх гэрлийн дамжуулалт 92% -иас дээш, эсэргүүцэл нь 7X10-4Ωcm байна. Тэд тасалгааны температурт 350 ~ 550 ℃ температурт ургуулсан ITO хальсыг шарсан бөгөөд анивчих температур өндөр байх тусам ITO хальсны талст шинж чанар сайн болохыг олж мэдэв. 550 ℃ температурт халаасны дараа хальсны харагдах гэрлийн дамжуулалт 93%, ширхэгийн хэмжээ 37 нм орчим байна. плазмын тусламжтай арга нь хальс үүсэх үед субстратын температурыг бууруулж чаддаг бөгөөд энэ нь хальс үүсэх хамгийн чухал хүчин зүйл бөгөөд талст чанар нь мөн хамгийн чухал юм. Плазмын тусламжтай арга нь хальс үүсгэх үед субстратын температурыг бууруулж чаддаг бөгөөд тунадаснаас олж авсан ITO хальс нь сайн гүйцэтгэлтэй байдаг. S. Laux нар бэлтгэсэн ITO киноны эсэргүүцэл. маш бага, 5*10-”Ωсм, 550нм-ийн гэрлийн шингээлт нь 5%-иас бага, хальсны эсэргүүцэл ба оптик зурвасын өргөн нь мөн хуримтлуулах явцад хүчилтөрөгчийн даралтыг өөрчилснөөр өөрчлөгддөг.
-Энэ нийтлэлийг нийтэлсэнвакуум бүрэх машин үйлдвэрлэгчГуандун Жэнхуа
Шуудангийн цаг: 2024 оны 3-р сарын 23-ны хооронд