അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗ് മെഷീനിന്റെ പ്രവർത്തന തത്വം എന്താണ്?

അയോൺ കോട്ടിംഗ്യന്ത്രം 1960-കളിൽ ഡി.എം. മാറ്റോക്സ് മുന്നോട്ടുവച്ച സിദ്ധാന്തത്തിൽ നിന്നാണ് ഉത്ഭവിച്ചത്, അനുബന്ധ പരീക്ഷണങ്ങൾ അക്കാലത്ത് ആരംഭിച്ചു; 1971 വരെ ചേമ്പേഴ്‌സും മറ്റുള്ളവരും ഇലക്ട്രോൺ ബീം അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗിന്റെ സാങ്കേതികവിദ്യ പ്രസിദ്ധീകരിച്ചു; 1972-ൽ TiC, TiN പോലുള്ള സൂപ്പർ-ഹാർഡ് ഫിലിം തരങ്ങൾ നിർമ്മിച്ചപ്പോൾ, റിയാക്ടീവ് ബാഷ്പീകരണ പ്ലേറ്റിംഗ് (ARE) സാങ്കേതികവിദ്യ ബൻഷാ റിപ്പോർട്ടിൽ ചൂണ്ടിക്കാണിക്കപ്പെട്ടു; 1972-ൽ, സ്മിത്തും മോളിയും കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ ഹോളോ കാഥോഡ് സാങ്കേതികവിദ്യ സ്വീകരിച്ചു. 1980-കളോടെ, ചൈനയിലെ അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗ് ഒടുവിൽ വ്യാവസായിക പ്രയോഗത്തിന്റെ തലത്തിലെത്തി, വാക്വം മൾട്ടി-ആർക്ക് അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗ്, ആർക്ക്-ഡിസ്ചാർജ് അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗ് തുടങ്ങിയ കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയകൾ തുടർച്ചയായി പ്രത്യക്ഷപ്പെട്ടു.

വാക്വം അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗിന്റെ മുഴുവൻ പ്രവർത്തന പ്രക്രിയയും ഇപ്രകാരമാണ്: ആദ്യം,പമ്പ്വാക്വം ചേമ്പർ, പിന്നെകാത്തിരിക്കുകവാക്വം മർദ്ദം 4X10 ⁻ ³ Pa ആയിഅല്ലെങ്കിൽ നല്ലത്, ഉയർന്ന വോൾട്ടേജ് പവർ സപ്ലൈ ബന്ധിപ്പിക്കുകയും സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റിനും ബാഷ്പീകരണത്തിനും ഇടയിൽ കുറഞ്ഞ വോൾട്ടേജ് ഡിസ്ചാർജ് വാതകത്തിന്റെ താഴ്ന്ന താപനില പ്ലാസ്മ ഏരിയ നിർമ്മിക്കുകയും ചെയ്യേണ്ടത് ആവശ്യമാണ്. കാഥോഡിന്റെ ഒരു ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് രൂപപ്പെടുത്തുന്നതിന് സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റ് ഇലക്ട്രോഡിനെ 5000V DC നെഗറ്റീവ് ഹൈ വോൾട്ടേജുമായി ബന്ധിപ്പിക്കുക. നെഗറ്റീവ് ഗ്ലോ ഏരിയയ്ക്ക് സമീപം നിഷ്ക്രിയ വാതക അയോണുകൾ സൃഷ്ടിക്കപ്പെടുന്നു. അവ കാഥോഡ് ഡാർക്ക് ഏരിയയിൽ പ്രവേശിക്കുകയും വൈദ്യുത മണ്ഡലം വഴി ത്വരിതപ്പെടുത്തുകയും അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ബോംബ് ഇടിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ഇതൊരു ക്ലീനിംഗ് പ്രക്രിയയാണ്, തുടർന്ന് കോട്ടിംഗ് പ്രക്രിയയിൽ പ്രവേശിക്കുന്നു. ബോംബാർഡ്‌മെന്റ് ചൂടാക്കലിന്റെ ഫലത്തിലൂടെ, ചില പ്ലേറ്റിംഗ് വസ്തുക്കൾ ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെടുന്നു. പ്ലാസ്മ ഏരിയ പ്രോട്ടോണുകളിലേക്ക് പ്രവേശിക്കുന്നു, ഇലക്ട്രോണുകളുമായും നിഷ്ക്രിയ വാതക അയോണുകളുമായും കൂട്ടിയിടിക്കുന്നു, അവയിൽ ഒരു ചെറിയ ഭാഗം അയോണീകരിക്കപ്പെടുന്നു, ഉയർന്ന ഊർജ്ജമുള്ള ഈ അയോണൈസ്ഡ് അയോണുകൾ ഫിലിം ഉപരിതലത്തിൽ ബോംബ് ഇടിക്കുകയും ഫിലിം ഗുണനിലവാരം ഒരു പരിധിവരെ മെച്ചപ്പെടുത്തുകയും ചെയ്യും.

വാക്വം അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗിന്റെ തത്വം ഇതാണ്: വാക്വം ചേമ്പറിൽ, വാതക ഡിസ്ചാർജ് പ്രതിഭാസം അല്ലെങ്കിൽ ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെട്ട പദാർത്ഥത്തിന്റെ അയോണൈസ്ഡ് ഭാഗം ഉപയോഗിച്ച്, ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെട്ട പദാർത്ഥ അയോണുകളുടെയോ വാതക അയോണുകളുടെയോ ബോംബാക്രമണത്തിന് കീഴിൽ, ഒരേ സമയം ഈ ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെട്ട പദാർത്ഥങ്ങളെയോ അവയുടെ പ്രതിപ്രവർത്തനങ്ങളെയോ അടിവസ്ത്രത്തിൽ നിക്ഷേപിച്ച് ഒരു നേർത്ത ഫിലിം ലഭിക്കുന്നു. അയോൺ കോട്ടിംഗ്.യന്ത്രംവാക്വം ബാഷ്പീകരണം, പ്ലാസ്മ സാങ്കേതികവിദ്യ, ഗ്യാസ് ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് എന്നിവ സംയോജിപ്പിക്കുന്നു, ഇത് ഫിലിം ഗുണനിലവാരം മെച്ചപ്പെടുത്തുക മാത്രമല്ല, ഫിലിമിന്റെ പ്രയോഗ ശ്രേണി വികസിപ്പിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു. ശക്തമായ ഡിഫ്രാക്ഷൻ, നല്ല ഫിലിം അഡീഷൻ, വിവിധ കോട്ടിംഗ് വസ്തുക്കൾ എന്നിവയാണ് ഈ പ്രക്രിയയുടെ ഗുണങ്ങൾ. അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗിന്റെ തത്വം ആദ്യം നിർദ്ദേശിച്ചത് ഡിഎം മാറ്റോക്സാണ്. പലതരം അയോൺ പ്ലേറ്റിംഗുകൾ ഉണ്ട്. ഏറ്റവും സാധാരണമായ തരം ബാഷ്പീകരണ ചൂടാക്കൽ ആണ്, അതിൽ റെസിസ്റ്റൻസ് ഹീറ്റിംഗ്, ഇലക്ട്രോൺ ബീം ഹീറ്റിംഗ്, പ്ലാസ്മ ഇലക്ട്രോൺ ബീം ഹീറ്റിംഗ്, ഹൈ-ഫ്രീക്വൻസി ഇൻഡക്ഷൻ ഹീറ്റിംഗ്, മറ്റ് ഹീറ്റിംഗ് രീതികൾ എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു.