പൊള്ളയായ കാഥോഡ് അയോൺ കോട്ടിംഗിന്റെ പ്രക്രിയ

പൊള്ളയായ കാഥോഡ് അയോൺ ആവരണം ചെയ്യുന്ന പ്രക്രിയ ഇപ്രകാരമാണ്:

1, തകർച്ചയിൽ ചിൻ ഇൻഗോട്ടുകൾ ഇടുക.

2, വർക്ക്പീസ് മൌണ്ട് ചെയ്യുന്നു.

3, 5×10-3Pa വരെ വായു നിറച്ച ശേഷം, സിൽവർ ട്യൂബിൽ നിന്ന് കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിലേക്ക് ആർഗോൺ വാതകം കുത്തിവയ്ക്കുന്നു, വാക്വം ലെവൽ ഏകദേശം 100Pa ആണ്.

4, ബയസ് പവർ ഓണാക്കുക.

5, ഹോളോ കാഥോഡ് ഡിസ്ചാർജ് ജ്വലിപ്പിക്കാൻ ആർക്ക് പവർ ഓണാക്കിയ ശേഷം. ബട്ടൺ ട്യൂബിൽ ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് ജനറേറ്റ് ചെയ്യപ്പെടുന്നു, ഡിസ്ചാർജ് വോൾട്ടേജ് 800~1000V ആണ്, ആർക്ക്-റൈസിംഗ് കറന്റ് 30~50A ആണ്. ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജിന്റെ പൊള്ളയായ കാഥോഡ് പ്രഭാവം കാരണം, ഉയർന്ന ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജ് കറന്റ് സാന്ദ്രത, സിൽവർ ട്യൂബിലെ എലി അയോണുകളുടെ ഉയർന്ന സാന്ദ്രത വാന്റേജ് ട്യൂബിന്റെ ഭിത്തിയിൽ ബോംബ് ഇടുന്നു, ഇലക്ട്രോൺ പ്രവാഹത്തിന്റെ ഉദ്‌വമനത്തിലേക്ക് ട്യൂബ് മതിൽ വേഗത്തിൽ ചൂടാക്കുന്നു, ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജിൽ നിന്നുള്ള ഡിസ്ചാർജ് മോഡ് പെട്ടെന്ന് ആർക്ക് ഡിസ്ചാർജിലേക്ക് മാറുന്നു, വോൾട്ടേജ് 40~70V ആണ്, കറന്റ് 80~300A ആണ്. സിൽവർ ട്യൂബ് താപനില 2300K-ൽ കൂടുതലെത്തുന്നു, ഇൻകാൻഡസെന്റ്, ട്യൂബിൽ നിന്ന് ഉയർന്ന സാന്ദ്രതയുള്ള ആർക്ക് ഇലക്ട്രോണുകളുടെ ഒരു സ്ട്രീം പുറപ്പെടുവിക്കുകയും ആനോഡിലേക്ക് എറിയുകയും ചെയ്യുന്നു.

6, വാക്വം ലെവലിന്റെ ക്രമീകരണം. പൊള്ളയായ കാഥോഡ് ഗണ്ണിൽ നിന്നുള്ള ഗ്ലോ ഡിസ്ചാർജിന്റെ വാക്വം ലെവൽ ഏകദേശം 100 Pa ആണ്, കൂടാതെ കോട്ടിംഗിന്റെ വാക്വം ഡിഗ്രി 8×10-1~2Pa ആണ്. അതിനാൽ, ആർക്ക് ഡിസ്ചാർജ് ജ്വലിപ്പിച്ച ശേഷം, വരുന്ന ആർഗോൺ വാതകം എത്രയും വേഗം കുറയ്ക്കുക, കോട്ടിംഗിന് അനുയോജ്യമായ ഒരു ശ്രേണിയിലേക്ക് വാക്വം ലെവൽ ക്രമീകരിക്കുക.

7, ടൈറ്റാനിയം പൂശിയ അടിസ്ഥാന പാളി. അനോഡിക്കലി തകർന്ന ചിൻ ലോഹ ഇങ്കോട്ടിലേക്ക് ഇലക്ട്രോൺ പ്രവാഹം, ഗതികോർജ്ജത്തെ താപ ഊർജ്ജമാക്കി മാറ്റൽ, ചൂടാക്കി ചിൻ ലോഹത്തിന്റെ ബാഷ്പീകരണം, നീരാവി ആറ്റങ്ങൾ വർക്ക്പീസിൽ എത്തി ഒരു ടൈറ്റാനിയം ഫിലിം രൂപപ്പെടുത്തുന്നു.

8, TiN നിക്ഷേപം. നൈട്രജൻ വാതകം കോട്ടിംഗ് ചേമ്പറിലേക്ക് നൽകുന്നു, നൈട്രജൻ വാതകവും ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെട്ട ആറ്റങ്ങളും നൈട്രജൻ, ടൈറ്റാനിയം അയോണുകളായി അയോണീകരിക്കപ്പെടുന്നു. ക്രൂസിബിളിന് മുകളിൽ, കുറഞ്ഞ ഊർജ്ജ ഇലക്ട്രോണുകളുടെ സാന്ദ്രമായ പ്രവാഹങ്ങളുള്ള ടൈറ്റാനിയം നീരാവി ആറ്റങ്ങളുടെ ഇലാസ്റ്റിക് കൂട്ടിയിടിയുടെ ഉയർന്ന സാധ്യത, ലോഹ വിഘടന നിരക്ക് 20% ~ 40% വരെ ഉയർന്നതാണ്., ടൈറ്റാനിയം അയോണുകൾ പ്രതിപ്രവർത്തന വാതക നൈട്രജനുമായി രാസപരമായി പ്രതിപ്രവർത്തിക്കാൻ സാധ്യതയുണ്ട്, ഒരു നൈട്രൈഡ് മാന്റിൽ ഫിലിം പാളി ലഭിക്കുന്നതിനുള്ള നിക്ഷേപം. പൊള്ളയായ കാഥോഡ് തോക്ക് രണ്ടും ഒരു ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സാണ്, അയോണൈസേഷന്റെ മറ്റൊരു ഉറവിടം. പൂശുന്ന സമയത്ത്, ക്രൂസിബിളിന് ചുറ്റുമുള്ള വൈദ്യുതകാന്തിക കോയിലിന്റെ വൈദ്യുതധാരയും ക്രമീകരിക്കണം, ഇലക്ട്രോൺ ബീം തകർച്ചയുടെ മധ്യഭാഗത്തേക്ക് കേന്ദ്രീകരിക്കുക, അങ്ങനെ, ഇലക്ട്രോൺ പ്രവാഹത്തിന്റെ പവർ സാന്ദ്രത വർദ്ധിക്കുന്നു.

9, പവർ ഓഫ് ചെയ്യുക. ഫിലിം കനം മുൻകൂട്ടി നിശ്ചയിച്ച ഫിലിം കനം എത്തിയ ശേഷം, ആർക്ക് പവർ സപ്ലൈ, ബയസ് പവർ സപ്ലൈ, എയർ സപ്ലൈ എന്നിവ ഓഫ് ചെയ്യുക.