① Добра контрола и повторување на дебелината на филмот
Дали дебелината на филмот може да се контролира на претходно одредена вредност се нарекува контрола на дебелината на филмот. Потребната дебелина на филмот може да се повтори повеќе пати, што се нарекува повторување на дебелината на филмот. Бидејќи струјата на празнење и целната струја на вакуумското распрскувачко обложување можат да се контролираат одделно, дебелината на распрскуваниот филм е контролирана, а филмот со претходно одредена дебелина може сигурно да се нанесе. Покрај тоа, распрскувачкото обложување може да добие филм со униформна дебелина на голема површина.
② Силна адхезија помеѓу филмот и подлогата
Енергијата на распрскуваните атоми е 1-2 реда на големина поголема од онаа на испарените атоми. Конверзијата на енергијата на распрскуваните атоми со висока енергија наталожени на подлогата е многу поголема од онаа на испарените атоми, што генерира поголема топлина и го подобрува адхезијата помеѓу распрскуваните атоми и подлогата. Покрај тоа, некои распрскувани атоми со висока енергија произведуваат различни степени на инјектирање, формирајќи слој на псевдодифузија на подлогата. Покрај тоа, подлогата секогаш се чисти и активира во плазма регионот за време на процесот на формирање на филм, што ги отстранува распрскуваните атоми со слаба адхезија и ја прочистува и активира површината на подлогата. Затоа, распрскуваниот филм има силна адхезија на подлогата.
③ Може да се подготви нов материјален филм различен од целта
Ако за време на распрскување се внесе реактивен гас за да реагира со целта, може да се добие нов материјален филм сосема различен од целта. На пример, силициум се користи како цел за распрскување, а кислородот и аргонот се ставаат заедно во вакуумската комора. По распрскување, може да се добие изолационен филм од SiOz. Користејќи титаниум како цел за распрскување, азот и аргон се ставаат заедно во вакуумската комора, а по распрскување може да се добие фазен TiN филм сличен на злато.
④ Висока чистота и добар квалитет на филмот
Бидејќи во уредот за подготовка на распрскувачкиот филм нема компонента на садот за прскање, компонентите на материјалот за загревање на садот за прскање нема да се мешаат во слојот на распрскувачкиот филм. Недостатоците на распрскувачкиот слој се тоа што брзината на формирање на филмот е помала од онаа на испарувачкиот слој, температурата на подлогата е повисока, лесно е да се биде под влијание на гас од нечистотии, а структурата на уредот е посложена.
Оваа статија е објавена од Гуангдонг Женхуа, производител наопрема за вакуумско обложување
Време на објавување: 09.03.2023