Во споредба со другите технологии за премачкување, премазот со магнетронско распрскување се карактеризира со следниве карактеристики: работните параметри имаат голем опсег на динамичко прилагодување на брзината на нанесување на премазот и дебелината (состојбата на обложената површина) може лесно да се контролира, и нема ограничување во дизајнот на геометријата на магнетронската цел за да се обезбеди униформност на премазот; нема проблем со капки честички во филмскиот слој; речиси сите метали, легури и керамика можат да се претворат во целни материјали; а целниот материјал може да се произведе со DC или RF магнетронско распрскување, кое може да генерира чисти метални или легирани премази со прецизен сооднос, како и метални реактивни филмови со учество на гас. Преку DC или RF распрскување, можно е да се генерираат чисти метални или легирани премази со прецизни и константни соодноси, како и метални реактивни филмови со учество на гас, за да се задоволат барањата за разновидност на тенок филм и висока прецизност. Типични процесни параметри за премаз со магнетронско распрскување се: работен притисок од 0,1Pa; целен напон од 300~700V; целна густина на моќност од 1~36W/cm².
Специфичните карактеристики на магнетронското распрскување се:
(1) Висока брзина на таложење. Поради употребата на магнетронски електроди, може да се добие многу голема јонска струја при бомбардирање на целта, така што брзината на распрскување на површината на целта и брзината на таложење на филмот на површината на подлогата се многу високи.
(2) Висока енергетска ефикасност. Веројатноста за судир на електрони со ниска енергија и атоми на гас е висока, па затоа стапката на дисоцијација на гасот е значително зголемена. Според тоа, импедансата на гасот за празнење (или плазма) е значително намалена. Затоа, магнетронското распрскување со еднонасочна струја во споредба со диполното распрскување со еднонасочна струја, дури и ако работниот притисок се намали од 1~10Pa на 10-210-1Pa, напонот на распрскување е исто така намален од илјадници волти на стотици волти, ефикасноста на распрскување и стапката на таложење се зголемуваат за редови на големина.
– Оваа статија е објавена одпроизводител на машина за вакуумско обложувањеГуангдонг Женхуа
Време на објавување: 01.12.2023