Ko te Indium Tin Oxide (Indium Tin Oxide, e kiia ana ko ITO) he waahi whanui whanui, he nui te doped momo-n-momo rauemi semiconductor, me te kaha o te whakamarama marama me te iti o nga ahuatanga o te aukati, na reira ka whakamahia nuitia i roto i nga ruma o te ra, nga whakaaturanga papatahi, nga matapihi electrochromic, te pararopi me te pararopi angiangi-kiriata electroluminescence. kiriata, tae atu ki te whakaetonga taiaho puhoi, sputtering, kohu matū waiariki, rehu waiariki pirau, sol-gel, whakaetonga, aha atu.
He maha nga huarahi ki te whakarite i te kiriata ITO, tae atu ki te whakaetonga taiaho pupuhi, te pupuhi, te waipara matū, te rehu pyrolysis, te sol-gel, te whakaetonga me etahi atu, ko te tikanga whakaetonga e tino whakamahia ana ko te whakaetonga kurupae hiko. Ko te whakarite whakaetonga o nga kiriata ITO e rua nga huarahi: ko tetahi ko te whakamahi i te parakore In, Sn koranu hei rauemi puna, i roto i te hau hāora mo te whakaetonga tauhohenga; te tuarua ko te whakamahi i te In2O3 parakore teitei:, te ranunga SnO2 hei rauemi puna mo te whakaetonga tika. Ki te hanga i te kiriata ki te whakawhiti teitei me te iti parenga, te tikanga kia teitei ake te pāmahana tïpako, te hiahia ranei mo te annealing muri o te kiriata. HR Fallah et al. i whakamahia te tikanga whakaetonga kurupae irahiko i nga mahana iti ki te whakatakoto i nga kiriata angiangi ITO, ki te ako i te paanga o te reiti waipara, te pāmahana whakaene me etahi atu tawhā tukanga ki te hanganga o te kiriata, nga taonga hiko me te whatu. I tohuhia e ratou ko te whakaheke i te reiti waipara ka piki ake te whakawhiti me te whakaheke i te parenga o nga kiriata iti-whakaahua. Ko te whakawhiti o te marama kitea he nui ake i te 92%, me te parenga he 7X10-4Ωcm. i whakapourihia e ratou nga kiriata ITO i whakatipuhia i te pāmahana rūma i te 350 ~ 550 ℃, a ka kitea ko te teitei ake o te pāmahana whakahiato, he pai ake te taonga tioata o nga kiriata ITO. ko te whakawhiti marama o nga kiriata i muri i te whakapouri i te 550 ℃ ko te 93%, me te rahi o te witi e tata ana ki te 37nm. ka taea hoki e te tikanga awhina plasma te whakaiti i te pāmahana o te substrate i te wa o te hanganga o te kiriata, ko te mea tino nui i roto i te hanganga o te kiriata, me te mea nui ano hoki te tioata. Ka taea hoki e te tikanga awhina plasma te whakaheke i te pāmahana o te substrate i te wa e hangaia ana te kiriata, a he pai te mahi o te kiriata ITO i puta mai i te waipara. te parenga o te kiriata ITO na S. Laux et al. he iti rawa, 5*10-”Ωcm, a ko te whakaurunga o te marama i te 550nm he iti iho i te 5%, ka huri ano hoki te parenga o te kiriata me te bandwidth whatu ma te huri i te pehanga hāora i te wa o te tukunga.
– Ko tenei tuhinga i tukuna ekaihanga miihini whakakikorua korehauGuangdong Zhenhua
Te wa tuku: Maehe-23-2024