Ny dingan'ny coating ion cathode hollow dia toy izao manaraka izao:
1. Apetaho ao anaty lafaoro ny akorandriaka Chin.
2. Fametrahana ny workpiece.
3, Rehefa avy nifindra tany amin'ny 5 × 10-3Pa, argon entona dia nampidirina ao amin'ny coating efitra avy amin'ny volafotsy fantsona, ary ny banga haavon'ny dia manodidina 100Pa.
4. Ampidiro ny herin'ny bias.
5 、 Rehefa avy mamadika ny herin'ny Arc mba handrehitra ny fivoahan'ny cathode hollow.Ny fivoahan'ny hazavana dia miteraka ao amin'ny fantsona bokotra, Ny volavolan-tseranana dia 800 ~ 1000V, Ny fampiakarana ny arc dia 30 ~ 50A. Noho ny fiantraikan'ny cathode hollow amin'ny fivoahan'ny hazavana, ny hatevin'ny rindrina avo lenta amin'ny rindrina avo lenta ny fantsona vantage, Ataovy haingana ny rindrina fantsona amin'ny famoahana ny fikorianan'ny elektrôna, ny fomba fivoahana avy amin'ny fiposahan'ny hazavana fiovana tampoka amin'ny fivoahana arc, Ny voltase dia 40 ~ 70V, Ny ankehitriny dia 80 ~ 300A. Ny mari-pana fantsona volafotsy dia mahatratra mihoatra ny 2300K, ny fiposahan'ny hazavana avy amin'ny ranomandry, ary ny haavon'ny angovo avy amin'ny fantsona elektrika.
6, Fanitsiana ny banga haavon'ny. Ny banga haavon'ny famirapiratana mivoaka avy amin'ny poakaty cathode basy dia tokony ho 100 Pa, Ary ny banga ambaratonga ny coating dia 8 × 10-1 ~ 2Pa. Noho izany, Rehefa avy ignition ny Arc fivoahana, Ahena ny miditra argon entona haingana araka izay azo atao, Ahitsio
7, Titanium nopetahana fototra layer.Electron mikoriana eo amin'ny anodically nirodana Chin metaly ingot, Fiovam-po ny kinetic angovo angovo mafana, Evaporation ny Chin vy amin'ny alalan'ny fanafanana, etona atoma tonga ny workpiece mba hamorona titane sarimihetsika.
8、Deposition ny entona TiN.Nitrogen dia omena ny coating efitra, entona azota sy etona atoma dia ionized ho azota sy titane ions.Above ny crucible, Avo kokoa mety ho inelastic fifandonan'ny titane etona atoma amin'ny mikitroka renirano ny ambany-angovo elektrôna, ny metaly dissociation 0% dia 0%. mety kokoa ny fanehoan-kevitra simika amin'ny entona azota fanehoan-kevitra, Deposition mba hahazoana ny nitride mantle film layer.The hollow cathode basy dia samy loharano vaporization，Loharano iray hafa ny ionization.During coating,Ny ankehitriny ny electromagnetic coil manodidina ny crucible dia tokony ho ahitsy ihany koa, hifantoka ny elektrôna taratra ho any afovoan'ny ny firodanan'ny ny hery, toy izany koa ny hakitroky ny electron.
9, Power Off.After ny sarimihetsika hatevin'ny tonga amin'ny efa voafaritra ny hatevin'ny sarimihetsika, Vonoy arc hery famatsiana, Bias famatsiana herinaratra sy ny rivotra.
Fotoana fandefasana: Jul-08-2023