Dobas katoda jonu pārklāšanas process ir šāds:
1. Ievietojiet Chin lietņus sabrukumā.
2. Sagataves montāža.
3. Pēc vakuuma samazināšanas līdz 5 × 10⁻⁸ Pa, argona gāze tiek ievadīta pārklāšanas kamerā no sudraba caurules, un vakuuma līmenis ir aptuveni 100 Pa.
4. Ieslēdziet nobīdes jaudu.
5. Pēc loka strāvas ieslēgšanas aizdedzina dobo katoda izlādi. Pogas caurulē rodas kvēlojošā izlāde. Izlādes spriegums ir 800–1000 V, loka ierosināšanas strāva ir 30–50 A. Kvēlojošās izlādes dobā katoda efekta dēļ kvēlojošās izlādes strāvas blīvums ir augsts. Sudraba caurulē esošo žurku jonu augstais blīvums bombardē laterālās caurules sienu. Caurules siena ātri sasilst, lai izstarotu elektronu plūsmu. Izlādes režīms no kvēlojošās izlādes pēkšņi mainās uz loka izlādi. Spriegums ir 40–70 V, strāva ir 80–300 A. Sudraba caurules temperatūra sasniedz virs 2300 K. Kvēlojoša. No caurules izstaro augsta blīvuma loka elektronu plūsmu, kas tiek raidīta uz anodu.
6. Vakuuma līmeņa regulēšana. Dobas katoda pistoles kvēlojošās izlādes vakuuma līmenis ir aptuveni 100 Pa, un pārklāšanas vakuuma pakāpe ir 8 × 10⁻¹~2Pa. Tāpēc pēc loka izlādes aizdegšanās pēc iespējas ātrāk samaziniet ienākošās argona gāzes daudzumu un noregulējiet vakuuma līmeni diapazonā, kas piemērots pārklāšanai.
7. Ar titānu pārklāts pamatnes slānis. Elektronu plūsma uz anodiski sabrukušā Ķīnas metāla stieņa, kinētiskās enerģijas pārveidošana siltumenerģijā, Ķīnas metāla iztvaikošana karsējot, tvaika atomi sasniedz sagatavi, veidojot titāna plēvi.
8. TiN nogulsnēšana. Pārklāšanas kamerā tiek piegādāta slāpekļa gāze, slāpekļa gāze un iztvaicētie atomi tiek jonizēti slāpekļa un titāna jonos. Virs tīģeļa pastāv lielāka titāna tvaika atomu neelastīgo sadursmju varbūtība ar blīvām zemas enerģijas elektronu plūsmām. Metālu disociācijas ātrums ir pat 20–40 %. Titāna joni, visticamāk, ķīmiski reaģēs ar reakcijas gāzi slāpekli. Nogulsnēšana notiek, lai iegūtu nitrīda apvalka plēves slāni. Doba katoda lielgabals ir gan iztvaikošanas avots, gan vēl viens jonizācijas avots. Pārklāšanas laikā jāpielāgo arī elektromagnētiskās spoles strāva ap tīģeli. Elektronu stars jāfokusē uz sabrukšanas centru. Tādējādi palielinās elektronu plūsmas jaudas blīvums.
9. Izslēgšana. Kad plēves biezums sasniedz iepriekš noteikto plēves biezumu, izslēdziet loka barošanas avotu, nobīdes barošanas avotu un gaisa padevi.
Publicēšanas laiks: 2023. gada 8. jūlijs