ITO pārklājuma ievads

Indija alvas oksīds (indija alvas oksīds, saukts par ITO) ir platjoslas spraugas, stipri leģēts n tipa pusvadītāju materiāls ar augstu redzamās gaismas caurlaidību un zemu pretestību, tāpēc to plaši izmanto saules baterijās, plakanā paneļa displejos, elektrohromajos logos, neorganiskajās un organiskajās plānplēves elektroluminiscencēs, lāzerdiodēs un ultravioletā starojuma detektoros un citās fotoelektriskajās ierīcēs utt. Ir daudzas ITO plēvju sagatavošanas metodes, tostarp impulsa lāzera pārklāšana, izsmidzināšana, ķīmiskā tvaiku pārklāšana, termiskā sadalīšanās ar izsmidzināšanu, sol-gels, iztvaikošana utt. Starp iztvaikošanas metodēm visbiežāk tiek izmantota elektronu staru iztvaikošana.

Ir daudz ITO plēves sagatavošanas veidu, tostarp impulsa lāzera uzklāšana, izsmidzināšana, ķīmiskā tvaiku uzklāšana, izsmidzināšanas pirolīze, sol-gels, iztvaikošana un tā tālāk, no kurām visbiežāk izmantotā iztvaikošanas metode ir elektronu staru iztvaikošana. ITO plēvju sagatavošanai iztvaikojot parasti ir divi veidi: viens ir augstas tīrības pakāpes In un Sn sakausējuma izmantošana kā izejmateriāls skābekļa atmosfērā reakcijas iztvaikošanai; otrs ir augstas tīrības pakāpes In₂O₃:, SnO₂ maisījuma izmantošana kā izejmateriāls tiešai iztvaikošanai. Lai iegūtu plēvi ar augstu caurlaidību un zemu pretestību, parasti ir nepieciešama augstāka substrāta temperatūra vai nepieciešamība pēc plēves atkvēlināšanas. HR Fallah et al. izmantoja elektronu staru iztvaikošanas metodi zemā temperatūrā, lai uzklātu ITO plānas plēves, lai pētītu uzklāšanas ātruma, atkvēlināšanas temperatūras un citu procesa parametru ietekmi uz plēves struktūru, elektriskajām un optiskajām īpašībām. Viņi norādīja, ka, samazinot uzklāšanas ātrumu, var palielināt caurlaidību un samazināt zemā temperatūrā audzētu plēvju pretestību. Redzamās gaismas caurlaidība ir lielāka par 92%, un pretestība ir 7X10-4Ωcm. Viņi atkvēlināja istabas temperatūrā 350–550 ℃ audzētas ITO plēves un atklāja, ka jo augstāka ir atkvēlināšanas temperatūra, jo labākas ir ITO plēvju kristāliskās īpašības. Plēvju redzamās gaismas caurlaidība pēc atkvēlināšanas 550 ℃ temperatūrā ir 93%, un graudu izmērs ir aptuveni 37 nm. Ar plazmu veicināta metode var arī samazināt substrāta temperatūru plēves veidošanās laikā, kas ir vissvarīgākais faktors plēves veidošanā, un arī kristāliskums ir vissvarīgākais. Ar plazmu veicināta metode var arī samazināt substrāta temperatūru plēves veidošanās laikā, un nogulsnēšanas rezultātā iegūtajai ITO plēvei ir laba veiktspēja. S. Laux et al. sagatavotās ITO plēves pretestība... ir ļoti zems, 5*10-”Ωcm, un gaismas absorbcija pie 550 nm ir mazāka par 5%, un plēves pretestība un optiskā joslas platums mainās arī, mainot skābekļa spiedienu nogulsnēšanas laikā.

– Šo rakstu publicēvakuuma pārklāšanas mašīnu ražotājsGuandunas Dženhua