Jonų dangamašina kilo iš D. M. Mattoxo septintajame dešimtmetyje pasiūlytos teorijos, o tuo metu pradėti ir atitinkami eksperimentai; iki 1971 m. Chambersas ir kiti publikavo elektronų pluošto jonų dengimo technologiją; reaktyvaus garinimo (ARE) technologija buvo paminėta Bunshaho ataskaitoje 1972 m., kai buvo gaminamos itin kietos plėvelės, tokios kaip TiC ir TiN; taip pat 1972 m. Smithas ir Molley dengimo procese pritaikė tuščiavidurio katodo technologiją. Iki devintojo dešimtmečio jonų dengimas Kinijoje pagaliau pasiekė pramoninį pritaikymą, ir paeiliui atsirado tokie dengimo procesai kaip vakuuminis daugialankinis jonų dengimas ir lanko išlydžio jonų dengimas.
Visas vakuuminio jonų dengimo procesas yra toks: pirma,siurblysvakuuminę kamerą, o tadalauktivakuumo slėgį iki 4X10⁻³³ Paarba geriau, būtina prijungti aukštos įtampos maitinimo šaltinį ir sukurti žemos temperatūros plazmos sritį iš žemos įtampos išlydžio dujų tarp substrato ir garintuvo. Prijunkite substrato elektrodą prie 5000 V nuolatinės srovės neigiamos aukštos įtampos, kad susidarytų katodo švytėjimo išlydis. Šalia neigiamo švytėjimo srities susidaro inertinių dujų jonai. Jie patenka į katodo tamsiąją zoną ir, greitinami elektrinio lauko, bombarduoja substrato paviršių. Tai valymo procesas, o tada patenka į dengimo procesą. Dėl bombardavimo kaitinimo kai kurios dengimo medžiagos išgaruoja. Plazmos sritis patenka į protonus, susiduria su elektronais ir inertinių dujų jonais, o nedidelė jų dalis yra jonizuojama. Šie didelės energijos jonizuoti jonai bombarduoja plėvelės paviršių ir tam tikru mastu pagerina plėvelės kokybę.
Vakuuminio jonų dengimo principas yra toks: vakuuminėje kameroje, naudojant dujų išlydžio reiškinį arba jonizuotą išgarintos medžiagos dalį, bombarduojant išgarintos medžiagos jonais arba dujų jonais, šios išgarintos medžiagos arba jų reagentai vienu metu nusodinami ant pagrindo, kad susidarytų plona plėvelė. Jonų dangamašinaApjungia vakuuminį garinimą, plazmos technologiją ir dujų švytėjimo išlydį, o tai ne tik pagerina plėvelės kokybę, bet ir išplečia jos taikymo sritis. Šio proceso privalumai yra stipri difrakcija, geras plėvelės sukibimas ir įvairios dengimo medžiagos. Joninio dengimo principą pirmasis pasiūlė DM Mattox. Yra daug joninio dengimo rūšių. Dažniausias tipas yra garinimo kaitinimas, įskaitant varžinį kaitinimą, elektronų pluošto kaitinimą, plazmos elektronų pluošto kaitinimą, aukšto dažnio indukcinį kaitinimą ir kitus kaitinimo metodus.
Įrašo laikas: 2023 m. vasario 14 d.