Indžio alavo oksidas (indio alavo oksidas, vadinamas ITO) yra plataus draudžiamojo tarpo, stipriai legiruota n tipo puslaidininkinė medžiaga, pasižyminti dideliu matomos šviesos pralaidumu ir maža varža, todėl plačiai naudojama saulės elementuose, plokščiuosiuose ekranuose, elektrochrominiuose languose, neorganinėse ir organinėse plonasluoksnėse elektroliuminescencijos sistemose, lazeriniuose dioduose ir ultravioletinių spindulių detektoriuose bei kituose fotovoltiniuose įrenginiuose ir kt. Yra daug ITO plėvelių gamybos būdų, įskaitant impulsinį lazerinį nusodinimą, dulkinimą, cheminį garų nusodinimą, purškimą ir terminį skaidymą, zolio-gelio metodą, garinimą ir kt. Iš garinimo metodų dažniausiai naudojamas elektronų pluošto garinimas.
Yra daug ITO plėvelės paruošimo būdų, įskaitant impulsinį lazerinį nusodinimą, dulkių dulkinimą, cheminį garų nusodinimą, purškiamąją pirolizę, zolio-gelio metodą, garinimą ir kt., iš kurių dažniausiai naudojamas garinimo metodas yra elektronų pluošto garinimas. ITO plėvelių paruošimas garinant paprastai atliekamas dviem būdais: vienas yra didelio grynumo In ir Sn lydinio naudojimas kaip žaliava deguonies atmosferoje reakcijos garinimui; antrasis yra didelio grynumo In₂O₃:, SnO₂ mišinio naudojimas kaip žaliava tiesioginiam garinimui. Norint pagaminti plėvelę, pasižyminčią dideliu pralaidumu ir mažu varža, paprastai reikia aukštesnės pagrindo temperatūros arba vėlesnio plėvelės atkaitinimo. HR Fallah ir kt. naudojo elektronų pluošto garinimo metodą žemoje temperatūroje, kad nusodintų ITO plonas plėveles, siekdami ištirti nusodinimo greičio, atkaitinimo temperatūros ir kitų proceso parametrų įtaką plėvelės struktūrai, elektrinėms ir optinėms savybėms. Jie atkreipė dėmesį, kad sumažinus nusodinimo greitį, galima padidinti žemoje temperatūroje išaugintų plėvelių pralaidumą ir sumažinti varžą. Matomos šviesos pralaidumas yra didesnis nei 92 %, o varža – 7X10-4Ωcm. Jie atkaitino kambario temperatūroje 350–550 ℃ užaugintas ITO plėveles ir nustatė, kad kuo aukštesnė atkaitinimo temperatūra, tuo geresnės ITO plėvelių kristalinės savybės. Plėvelių, atkaitintų 550 ℃ temperatūroje, matomos šviesos pralaidumas yra 93 %, o grūdelių dydis – apie 37 nm. Plazminis metodas taip pat gali sumažinti substrato temperatūrą plėvelės formavimo metu, o tai yra svarbiausias plėvelės formavimo veiksnys, o kristališkumas taip pat yra svarbiausias. Plazminis metodas taip pat gali sumažinti substrato temperatūrą plėvelės formavimo metu, o nusodinimo būdu gauta ITO plėvelė pasižymi geromis savybėmis. S. Laux ir kt. pagamintos ITO plėvelės varža... yra labai mažas, 5 * 10-”Ωcm, o šviesos absorbcija esant 550 nm bangos ilgiui yra mažesnė nei 5%, o plėvelės varža ir optinis pralaidumas taip pat keičiasi keičiant deguonies slėgį nusodinimo metu.
– Šį straipsnį išleidovakuuminio dengimo mašinų gamintojasGuangdong Zhenhua
Įrašo laikas: 2024 m. kovo 23 d.