ຫຼັກການການເຮັດວຽກຂອງເຄື່ອງເຄືອບ Ion ແມ່ນຫຍັງ

ການເຄືອບໄອອອນເຄື່ອງ ມີຕົ້ນກໍາເນີດມາຈາກທິດສະດີທີ່ສະເຫນີໂດຍ DM Mattox ໃນຊຸມປີ 1960, ແລະການທົດລອງທີ່ສອດຄ້ອງກັນໄດ້ເລີ່ມຕົ້ນໃນເວລານັ້ນ; ຈົນກ່ວາ 1971, Chambers ແລະອື່ນໆໄດ້ພິມເຜີຍແຜ່ເຕັກໂນໂລຢີຂອງແຜ່ນ ion beam ເອເລັກໂຕຣນິກ; ເທກໂນໂລຍີການເຄືອບການລະເຫີຍ reactive (ARE) ໄດ້ຊີ້ໃຫ້ເຫັນໃນບົດລາຍງານ Bunshah ໃນປີ 1972, ໃນເວລາທີ່ປະເພດຮູບເງົາແຂງ super ເຊັ່ນ TiC ແລະ TiN ໄດ້ຖືກຜະລິດ; ນອກຈາກນີ້ໃນປີ 1972, Smith ແລະ Molley ໄດ້ຮັບຮອງເອົາເທກໂນໂລຍີ cathode ເປັນຮູໃນຂະບວນການເຄືອບ. ໃນຊຸມປີ 1980, ແຜ່ນ ion ໃນປະເທດຈີນໄດ້ບັນລຸເຖິງລະດັບຂອງການນໍາໃຊ້ອຸດສາຫະກໍາໃນທີ່ສຸດ, ແລະຂະບວນການເຄືອບເຊັ່ນ: ແຜ່ນສູນຍາກາດຫຼາຍ arc ion ແລະແຜ່ນ ion arc-discharge ໄດ້ປະກົດຂຶ້ນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງ.

ຂະບວນການເຮັດວຽກທັງຫມົດຂອງແຜ່ນ ion ສູນຍາກາດແມ່ນດັ່ງຕໍ່ໄປນີ້: ທໍາອິດ,ສູບຫ້ອງການສູນຍາກາດ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນລໍຖ້າຄວາມກົດດັນສູນຍາກາດເປັນ 4X10 ⁻ ³ Paຫຼືດີກວ່າ, ມັນເປັນສິ່ງຈໍາເປັນເພື່ອເຊື່ອມຕໍ່ການສະຫນອງພະລັງງານແຮງດັນສູງແລະສ້າງພື້ນທີ່ plasma ອຸນຫະພູມຕ່ໍາຂອງອາຍແກັສອອກແຮງດັນຕ່ໍາລະຫວ່າງ substrate ແລະ evaporator ໄດ້. ເຊື່ອມຕໍ່ electrode substrate ກັບ 5000V DC ແຮງດັນສູງລົບເພື່ອສ້າງເປັນການປ່ອຍອາຍແກັສຂອງ cathode ໄດ້. ອາຍແກັສ inert ion ແມ່ນສ້າງຢູ່ໃກ້ກັບພື້ນທີ່ glow ລົບ. ພວກເຂົາເຈົ້າເຂົ້າໄປໃນພື້ນທີ່ຊ້ໍາ cathode ແລະຖືກເລັ່ງໂດຍພາກສະຫນາມໄຟຟ້າແລະ bombard ດ້ານຂອງ substrate ໄດ້. ນີ້ແມ່ນຂະບວນການທໍາຄວາມສະອາດ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນເຂົ້າໄປໃນຂະບວນການເຄືອບ. ໂດຍຜ່ານຜົນກະທົບຂອງການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນລະເບີດ, ວັດສະດຸແຜ່ນບາງແມ່ນ vaporized. ພື້ນທີ່ plasma ເຂົ້າໄປໃນ protons, collides ກັບ electrons ແລະ ions ອາຍແກັສ inert, ແລະບາງສ່ວນຂອງເຂົາເຈົ້າໄດ້ຖືກ ionized, ionized ionized ເຫຼົ່ານີ້ມີພະລັງງານສູງຈະລະເບີດພື້ນຜິວຮູບເງົາແລະປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາໄດ້ໃນລະດັບໃດຫນຶ່ງ.

ຫຼັກການຂອງແຜ່ນ ion ສູນຍາກາດແມ່ນ: ຢູ່ໃນຫ້ອງສູນຍາກາດ, ການນໍາໃຊ້ປະກົດການປ່ອຍອາຍແກັສຫຼືສ່ວນ ionized ຂອງວັດສະດຸ vaporized, ພາຍໃຕ້ການລະເບີດຂອງ ions ອຸປະກອນ vaporized ຫຼື ions ອາຍແກັສ, ພ້ອມກັນຝາກສານ vaporized ເຫຼົ່ານີ້ຫຼື reactants ຂອງເຂົາເຈົ້າກ່ຽວກັບ substrate ເພື່ອໃຫ້ໄດ້ຮັບຮູບເງົາບາງໆ. ການເຄືອບ ionເຄື່ອງປະສົມປະສານການລະເຫີຍສູນຍາກາດ, ເທກໂນໂລຍີ plasma ແລະການປ່ອຍອາຍແກັສ, ເຊິ່ງບໍ່ພຽງແຕ່ປັບປຸງຄຸນນະພາບຂອງຮູບເງົາ, ແຕ່ຍັງຂະຫຍາຍຂອບເຂດຄໍາຮ້ອງສະຫມັກຂອງຮູບເງົາ. ຂໍ້ໄດ້ປຽບຂອງຂະບວນການນີ້ແມ່ນການແຜ່ກະຈາຍທີ່ເຂັ້ມແຂງ, ການຕິດຟີມທີ່ດີ, ແລະອຸປະກອນການເຄືອບຕ່າງໆ. ຫຼັກການຂອງແຜ່ນ ion ໄດ້ຖືກສະເຫນີຄັ້ງທໍາອິດໂດຍ DM Mattox. ແຜ່ນ ion ມີຫຼາຍຊະນິດ. ປະເພດທົ່ວໄປທີ່ສຸດແມ່ນການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ evaporation, ລວມທັງຄວາມຮ້ອນຕ້ານທານ, ຄວາມຮ້ອນ beam ເອເລັກໂຕຣນິກ, plasma electron beam heating, ຄວາມຮ້ອນ induction ຄວາມຖີ່ສູງແລະວິທີການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນອື່ນໆ.