ຂະບວນການຂອງການເຄືອບ cathode ion ເປັນຮູມີດັ່ງນີ້:
1. ເອົາ Chin ingots ໃນການລົ້ມລົງ.
2, ການຕິດຕັ້ງ workpiece ໄດ້.
3, ຫຼັງຈາກການຍົກຍ້າຍກັບ 5 × 10-3Pa, ອາຍແກັສ argon ໄດ້ຖືກນໍາສະເຫນີເຂົ້າໄປໃນຫ້ອງເຄືອບຈາກທໍ່ເງິນ, ແລະລະດັບສູນຍາກາດແມ່ນປະມານ 100Pa.
4, ເປີດອໍານາດອະຄະຕິ.
5, ຫຼັງຈາກເປີດພະລັງງານ arc ເພື່ອ ignite ການໄຫຼ cathode ເປັນຮູ. ການໄຫຼ glow ແມ່ນຜະລິດຢູ່ໃນທໍ່ປຸ່ມ, ແຮງດັນໄຟຟ້າອອກແມ່ນ 800 ~ 1000V, ກະແສໄຟຟ້າ arc ເພີ່ມຂຶ້ນແມ່ນ 30 ~ 50A. ເນື່ອງຈາກຜົນກະທົບ cathode ເປັນຮູຂອງການໄຫຼ glow, ການໄຫຼ glow ສູງຂອງເງິນໃນປະຈຸບັນ. ທໍ່ລະເບີດໃສ່ຝາຂອງທໍ່ vantage, ເຮັດໃຫ້ຝາທໍ່ຮ້ອນຢ່າງໄວວາເຖິງການປ່ອຍອາຍພິດຂອງກະແສໄຟຟ້າ, ຮູບແບບການໄຫຼອອກຈາກການໄຫຼຂອງແສງສະຫວ່າງທີ່ມີການປ່ຽນແປງຢ່າງກະທັນຫັນໄປສູ່ການໄຫຼວຽນຂອງ arc, ແຮງດັນແມ່ນ 40 ~ 70V, ປະຈຸບັນແມ່ນ 80 ~ 300A. ອຸນຫະພູມທໍ່ເງິນສູງເຖິງ 2300K ສູງຈາກກະແສໄຟຟ້າ, ກະແສໄຟຟ້າຈາກກະແສໄຟຟ້າ. ທໍ່, ແລະແຊງກັບ anode ໄດ້.
6, ການປັບລະດັບສູນຍາກາດ. ລະດັບສູນຍາກາດສໍາລັບການໄຫຼ glow ຈາກປືນ cathode ເປັນຮູແມ່ນປະມານ 100 Pa, ແລະລະດັບສູນຍາກາດຂອງການເຄືອບແມ່ນ 8 × 10-1 ~ 2Pa. ດັ່ງນັ້ນ, ຫຼັງຈາກ ignition ຂອງ discharge arc, ຫຼຸດຜ່ອນອາຍແກັສ argon ເຂົ້າມາໃນທັນທີທີ່ເປັນໄປໄດ້, ປັບລະດັບການສູນຍາກາດ.
7, ຊັ້ນພື້ນຖານແຜ່ນ Titanium. ກະແສໄຟຟ້າເຂົ້າໄປໃນ ingot ໂລຫະ Chin ຍຸບ anodically, ການປ່ຽນພະລັງງານ kinetic ເປັນພະລັງງານຄວາມຮ້ອນ, ການລະເຫີຍຂອງໂລຫະ Chin ໂດຍການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນ, ປະລໍາມະນູ vapor ສາມາດບັນລຸ workpiece ເພື່ອສ້າງເປັນຮູບເງົາ titanium.
8, ການຖິ້ມຂອງອາຍແກັສ TiN. Nitrogen ໄດ້ຖືກສະຫນອງໃຫ້ແກ່ຫ້ອງເຄືອບ, ອາຍແກັສໄນໂຕຣເຈນແລະປະລໍາມະນູ evaporated ໄດ້ ionized ເປັນໄນໂຕຣເຈນແລະ titanium ions. ຂ້າງເທິງ crucible, ຄວາມເປັນໄປໄດ້ສູງຂອງການ collision inelastic ຂອງປະລໍາມະນູ vapor titanium ກັບສາຍນ້ໍາຫນາແຫນ້ນຂອງພະລັງງານຕ່ໍາເປັນໂລຫະໄຟຟ້າ. 20% ~ 40%, Titanium ions ມັກຈະປະຕິກິລິຍາທາງເຄມີກັບປະຕິກິລິຍາຂອງອາຍແກັສໄນໂຕຣເຈນ, ການຝັງຕົວທີ່ຈະໄດ້ຮັບຊັ້ນຮູບເງົາ nitride mantle. ປືນ cathode ເປັນທັງແຫຼ່ງ vaporization, ແຫຼ່ງຂອງ ionization ອີກອັນຫນຶ່ງ. ໃນລະຫວ່າງການເຄືອບ, ປະຈຸບັນຂອງທໍ່ແມ່ເຫຼັກໄຟຟ້າອ້ອມ crucible ຄວນຖືກປັບ, ເນັ້ນໃສ່ຈຸດສູນກາງຂອງໄຟຟ້າ. ການໄຫຼຂອງເອເລັກໂຕຣນິກເພີ່ມຂຶ້ນ.
9, ປິດພະລັງງານ. ຫຼັງຈາກຄວາມຫນາຂອງຮູບເງົາໄປຮອດຄວາມຫນາຂອງຮູບເງົາທີ່ກໍານົດໄວ້, ປິດການສະຫນອງພະລັງງານ arc, ການສະຫນອງພະລັງງານ Bias ແລະການສະຫນອງອາກາດ.
ເວລາປະກາດ: ກໍລະກົດ-08-2023