№1 өтүнмөнүн таржымалы
АӨИ ПХБларынын, интегралдык интегралдык субстраттардын жана өнүккөн таңгактоочу субстраттардын тез өнүгүшү менен электроника өндүрүш тармагы микро тешиктерди бургулоонун тактыгы, ырааттуулугу жана ишенимдүүлүгү үчүн барган сайын катуу талаптарга туш болууда.
Микробуралар ПХБ бургулоо процессинде маанилүү керектелүүчү шаймандар болуп саналат, алар негизинен өтө жогорку шпиндель ылдамдыгында 0,05тен 0,3 ммге чейинки өтө кичинекей тешиктердин диаметрлери үчүн колдонулат. Типтүү даярдалуучу материалдарга жогорку Tg ламинаттары, жогорку толтурулган жез менен капталган ламинаттар жана композиттик субстраттар кирет, алардын баары жогорку абразивдүүлүккө жана начар иштетүүгө ээ.
Үзгүлтүксүз жогорку ылдамдыктагы бургулоо шарттарында микробургулар кесүүнүн өтө жогорку температурасына, жогорку сүрүлүү жүктөмдөрүнө жана катуу механикалык стресске туруштук бериши керек, ошол эле учурда тешиктин туруктуу диаметрин жана тешиктин дубалынын жылмакай сапатын сакташы керек. Бул кесүүчү шаймандардын беттик касиеттерине жана каптоо натыйжалуулугуна өзгөчө жогорку талаптарды коет.
Кардарлардын №2 көйгөйү
Массалык өндүрүштө өндүрүүчүлөр көбүнчө төмөнкү кыйынчылыктарга туш болушат:
Аспаптын тез эскириши жана кыска кызмат мөөнөтү
Капталбаган же жетиштүү деңгээлде корголбогон микробургулардын четтери жогорку айлануу ылдамдыгында тез эскирип, мокоп же ал тургай сынып калат.
Жогорку сүрүлүү коэффициенти жана ашыкча жылуулуктун пайда болушу
Бул сыныктардын начар эвакуацияланышына, кесүү температурасынын жогорулашына жана тешиктердин дубалдарынын оройлугунун начарлашына алып келет.
Партиядан партияга начар ырааттуулук
Куралдардын иштөө мөөнөтүндөгү олуттуу өзгөрүүлөр куралдардын тез-тез алмашуусуна алып келет, бул өндүрүш ритмин жана процесстин туруктуулугун түздөн-түз бузат.
Бул көйгөйлөр акыры төмөнкүлөргө алып келет: бургулоо өндүрүмдүүлүгүнүн төмөндөшү; шаймандардын баасынын жогорулашы; станоктун токтоп калуу убактысынын көбөйүшү.
Мунун баары ири масштабдуу PCB өндүрүшүндө маанилүү тоскоолдуктарга айланууда.
№3 чечим | FMA0605 Катуу каптоо системасы
Жогорку ылдамдыктагы жана жогорку эскирүү шарттарында иштеген микробуралардын негизги бузулуу механизмдерин чечүү үчүн Zhenhua Vacuum компаниясы FMA0605 катуу каптоо системасын ишке киргизди.
Туруктуу жана так башкарылуучу катоддук жаа чөктүрүү процессин колдонуу менен, жогорку өндүрүмдүүлүктөгү өтө катуу каптоо системалары микробуралардын бетине чөктүрүлөт.
Чечим үч негизги аспектке багытталган:
Оптималдаштырылган каптоо архитектурасы; Жогорку пленка тыгыздыгы; Эң сонун калыңдыктын бирдейлиги
Булар чогуу алганда микробургулоочу шаймандардын эскирүүгө туруктуулугун, сүрүлүүнү азайтуусун жана коррозияга туруктуулугун бир кыйла жогорулатат.
№4 жабдуунун артыкчылыктары
Макробөлүкчөлөрдү калыбына келтирүү үчүн чыпкаланган жаа технологиясы
Жогорку сапаттагы Ta-C (тетраэдрдик аморфтук көмүртек) каптоолорун камсыз кылат, бул жогорку чөктүрүү натыйжалуулугун жана мыкты көрсөткүчтөрүн камсыз кылат.
Мыкты каптоо касиеттери; Өтө жогорку катуулук; Төмөнкү сүрүлүү коэффициенти; Эң сонун коррозияга туруктуулук; Орточо каптоо катуулук 63 ГПа чейин
Каптоо мүмкүнчүлүгү
Система ар кандай жогорку температурага туруктуу жана өтө катуу каптамаларды, анын ичинде төмөнкүлөрдү чөктүрүүнү колдойт: AlTiN;AlCrN;TiCrAlN;TiAlSiN;CrN. Бул каптамалар кесүүчү шаймандарга, калыптарга, тешкичтерге, автомобиль тетиктерине, поршеньдерге жана башка эскирүүчү өнөр жай тетиктерине кеңири колдонулат.
№5 чечимдин мааниси
FMA0605 катуу каптоо чечими менен кардарлар өндүрүштө өлчөнүүчү жакшыртууларга жетишти:
Микробуралоочу шаймандын иштөө мөөнөтүн бир кыйла узартты, бул ар бир шайман үчүн көбүрөөк тешиктерди жасоого мүмкүндүк берет
Бургулоо сапаты жакшырды, тешиктердин дубалдарынын консистенциясы жакшырды жана түшүмдүүлүгү жогорулады
Куралдарды алмаштыруу жыштыгы азайып, өндүрүш циклдери туруктуураак жана алдын ала айтууга мүмкүн болду
Жалпысынан шаймандардын чыгымдарын төмөндөтүү, ири масштабдуу өндүрүштүн артыкчылыктарын күчөтүү
– Бул макаланы жарыялаган вакуумдук каптоо жабдуулары өндүрүүчү Zhenhua чаң соргуч
Жарыяланган убактысы: 2026-жылдын 12-январы