№1 өтініш туралы ақпарат
АДИ ПХД, интегралдық интегралдық схемалар және озық қаптама негіздерінің жылдам дамуымен электроника өндірісі индустриясы микротесіктерді бұрғылау дәлдігіне, тұрақтылығына және сенімділігіне қойылатын талаптардың күшеюіне тап болуда.
Микробұрғылар ПХД бұрғылау процесінде маңызды тұтынылатын құралдар болып табылады, негізінен өте жоғары шпиндель жылдамдықтарында 0,05-тен 0,3 мм-ге дейінгі ультра кішкентай тесіктер диаметрлері үшін қолданылады. Әдеттегі дайындама материалдарына жоғары Tg ламинаттары, жоғары толтырылған мыспен қапталған ламинаттар және композиттік негіздер жатады, олардың барлығы жоғары абразивтілік пен нашар өңдеу қабілетімен ерекшеленеді.
Үздіксіз жоғары жылдамдықты бұрғылау жағдайында микробұрғылар тесіктің тұрақты диаметрін және тегіс тесік қабырғасының сапасын сақтай отырып, экстремалды кесу температурасына, жоғары үйкеліс жүктемелеріне және ауыр механикалық кернеуге төтеп беруі керек. Бұл кескіш құралдардың беткі қасиеттері мен жабын өнімділігіне ерекше жоғары талаптар қояды.
№2 Тұтынушының қиындықтары
Жаппай өндірісте өндірушілер көбінесе келесі қиындықтарға тап болады:
Құралдың тез тозуы және қысқа қызмет ету мерзімі
Қапталмаған немесе жеткілікті қорғалмаған микробұрғылар жоғары айналу жылдамдықтарында жиектерінің тез тозуына, тотығуына немесе тіпті сынуына ұшырайды.
Жоғары үйкеліс коэффициенті және шамадан тыс жылу бөлінуі
Бұл жоңқалардың нашар эвакуациялануына, кесу температурасының жоғарылауына және тесік қабырғасының кедір-бұдырлығының нашарлауына әкеледі.
Топтамадан топтамаға сәйкестіктің нашарлығы
Құралдың қызмет ету мерзімінің айтарлықтай өзгеруі құралдың жиі ауысуына әкеледі, бұл өндіріс ырғағы мен процестің тұрақтылығын тікелей бұзады.
Бұл мәселелер сайып келгенде мыналарға әкеледі: бұрғылау өнімділігінің төмендеуі; құрал-саймандар құнының артуы; машинаның тоқтап қалу уақытының жоғарылауы.
Мұның бәрі ірі көлемді ПХД өндірісіндегі маңызды кедергілерге айналады.
№3 шешім | FMA0605 қатты жабын жүйесі
Жоғары жылдамдықты және жоғары тозу жағдайларында жұмыс істейтін микробұрғылардың негізгі ақаулық механизмдерін жою үшін Zhenhua Vacuum компаниясы FMA0605 қатты жабынды тұндыру жүйесін енгізді.
Тұрақты және дәл басқарылатын катодтық доғалық тұндыру процесін қолдана отырып, жоғары өнімді ультра қатты жабын жүйелері микробұрғылардың бетіне тұндырылады.
Шешім үш негізгі аспектіге бағытталған:
Оңтайландырылған жабын архитектурасы; Жоғары пленка тығыздығы; Тамаша қалыңдық біркелкілігі
Бұлар бірге микробұрғылау құралдарының тозуға төзімділігін, үйкелісті азайтуын және коррозияға төзімділігін айтарлықтай арттырады.
№4 жабдықтың артықшылықтары
Макробөлшектерді қалпына келтіруге арналған сүзгіленген доға технологиясы
Жоғары сапалы Ta-C (тетраэдрлік аморфты көміртекті) жабындарын жоғары тұндыру тиімділігімен және жоғары өнімділігімен қамтамасыз етеді.
Керемет жабын қасиеттері; Өте жоғары қаттылық; Төмен үйкеліс коэффициенті; Керемет коррозияға төзімділік; Орташа жабын қаттылығы 63 ГПа дейін
Қаптау мүмкіндігі
Жүйе келесілерді қоса алғанда, әртүрлі жоғары температураға төзімді және аса қатты жабындарды жағуды қолдайды: AlTiN;AlCrN;TiCrAlN;TiAlSiN;CrN. Бұл жабындар кескіш құралдарға, қалыптарға, тескіштерге, автомобиль бөлшектеріне, поршеньдерге және басқа да жоғары тозуға ұшырайтын өнеркәсіптік бөлшектерге кеңінен қолданылады.
№5 шешім мәні
FMA0605 қатты жабын ерітіндісімен тұтынушылар өндірісте айтарлықтай жақсартуларға қол жеткізді:
Микробұрғы құралының қызмет ету мерзімін айтарлықтай ұзартты, бұл әр құрал үшін көбірек тесіктер жасауға мүмкіндік береді
Бұрғылау сапасы жақсарды, ұңғыма қабырғасының консистенциясы жақсарды және өнімділігі жоғарылады
Құралдарды ауыстыру жиілігінің төмендеуі өндіріс циклдерінің тұрақтылығы мен болжамдылығының артуына әкеледі
Жалпы құрал-жабдық шығындарын төмендету, ірі көлемді өндірістің артықшылықтарын күшейту
– Бұл мақаланы жариялаған вакуумдық жабын жабдықтары өндіруші Zhenhua шаңсорғышы
Жарияланған уақыты: 2026 жылғы 12 қаңтар