Көңдөй катод иондук каптоо процесси

Көңдөй катод иондук каптоо процесси төмөнкүдөй:

1、Чындын куймаларын кыйрагыла.

2, Даярдоо бөлүгүн орнотуу.

3、5×10-3Пага эвакуациялангандан кийин, аргон газы каптоо камерасына күмүш түтүктөн киргизилет, ал эми вакуум деңгээли 100Па тегерегинде болот.

4、Бийиктик кубаттуулукту күйгүзүңүз.

5、Катоддун көңдөй разрядын тутандыруу үчүн жаа кубатын күйгүзгөндөн кийин. Жаркыраган разряд баскыч түтүкчөсүндө пайда болот, разряддын чыңалуусу 800~1000V, жааны көтөрүүчү ток 30~50A. күмүш түтүк вантаждык түтүктүн дубалын бомбалайт, түтүктүн дубалын электрон агымынын эмиссиясына чейин тез жылытыңыз, жаркыраган разряддан разряд режими капыстан дога разрядына өзгөрөт, чыңалуу 40 ~ 70V, ток 80 ~ 300A. Күмүш түтүктүн температурасы 2300K жогоруга жетет, ысытуу түтүктөрү, электр агымдары жана E. анодго атып.

6、Вакуум деңгээлин жөндөө. Көңдөй катоддук мылтыктан жаркыраган разряддын вакуумдук деңгээли болжол менен 100 Па, Ал эми жабуунун вакуумдук даражасы 8×10-1~2Па. Ошондуктан, жаа разряды күйгөндөн кийин, кирүүчү аргон газын мүмкүн болушунча тезирээк вакуумга чейин азайтыңыз.

7、Титан капталган базалык катмар. Аноддук түрдө кыйраган ээк металл куймасына электрон агымы, кинетикалык энергиянын жылуулук энергиясына айланышы, ысытуу аркылуу ээк металлынын бууланышы, буу атомдору титан пленкасын түзүү үчүн даярдалган бөлүгүнө жетет.

8、TiN. Депозитирлөө. Азот газы каптоо камерасына берилет, Азот газы жана бууланган атомдор азот жана титан иондоруна иондошот. Тигелдин үстүндө, Титан буусунун атомдорунун ийкемсиз кагылышууларынын ыктымалдыгы жогору. 20% ~ 40%., Титан иондору реакция газы азот менен химиялык реакцияга көбүрөөк ыктымал, Нитрид мантиясынын пленка катмарын алуу үчүн чөктүрүлөт. Көңдөй катод куралы буулануу булагы болуп саналат, Иондоштуруунун дагы бир булагы. Каптоо учурунда, Тигелдин айланасындагы электромагниттик катушканын агымы да электромагниттик катушканын борборун жөнгө салууга тийиш. кыйроо,Ошентип, электрон агымынын кубаттуулугу тыгыздыгы жогорулайт.

9、Күчтү өчүрүңүз.Пленка калыңдыгы алдын ала белгиленген пленканын калыңдыгына жеткенден кийин, жаа менен жабдууну өчүрүңүз、Электр кубаты менен жабдууну жана аба менен камсыздоону өчүрүңүз.