Индий калайынын кычкылы (Indium Tin оксиди, ITO деп аталат) - бул кенен тилкелүү боштук, катуу кошулган n-типтеги жарым өткөргүч материалдар, көрүнүүчү жарык өткөрүмдүүлүк жана төмөн каршылык мүнөздөмөлөрү менен, ошондуктан күн батареяларында, жалпак панелдик дисплейлерде, электрохромдук терезелерде, органикалык эмес жана органикалык фильтрлер, электроддор жана ультра кызгылт көк детекторлор жана башка фотоэлектрдик приборлор ж.б.ИТО пленкаларын даярдоонун көптөгөн ыкмалары бар, анын ичинде импульстук лазердик тундуруу, чачыратуу, химиялык буу коюу, спрей термикалык ажыроо, золь-гель, буулантуу ж.
ITO плёнкасын даярдоонун көптөгөн жолдору бар, анын ичинде импульстук лазердик тундуруу, чачыратуу, химиялык буу туташтыруу, спрей пиролиз, золь-гель, буулантуу жана башкалар, алардын ичинен эң көп колдонулган буулантуу ыкмасы электрондук нур менен буулантуу болуп саналат. ITO пленкаларын буулантууга даярдоо, адатта, эки жолу бар: бири жогорку тазалыкта In, Sn эритмесин баштапкы материал катары, кычкылтек атмосферасында буулануу реакциясы үчүн колдонуу; экинчиси - түз буулантуу үчүн баштапкы материал катары жогорку тазалыктагы In2O3:, SnO2 аралашмасын пайдалануу. Жогорку өткөрүмдүүлүк жана төмөн каршылык менен пленканы жасоо үчүн, негизинен, субстраттын жогорку температурасын же пленканы кийинки күйдүрүү зарылдыгын талап кылат. HR Fallah et al. ITO жука пленкаларын коюу үчүн төмөнкү температурада электрон нурун буулантуу ыкмасын колдонду, чөкүү ылдамдыгынын, күйдүрүү температурасынын жана процесстин башка параметрлеринин пленканын структурасына, электрдик жана оптикалык касиеттерине тийгизген таасирин изилдөө. Алар чөктүрүүнүн ылдамдыгын төмөндөтүү өткөргүчтүктү жогорулатып, төмөн температурада өстүрүлгөн пленкалардын каршылыгын төмөндөтүшү мүмкүн экенин белгилешти. Көрүнүп турган жарыктын өткөрүмдүүлүгү 92% дан ашык, каршылыгы 7X10-4Ωсм. алар 350 ~ 550 ℃ бөлмө температурасында өстүрүлгөн ITO пленкаларын күйдүрүп, күйдүрүү температурасы канчалык жогору болсо, ITO пленкаларынын кристаллдык касиети ошончолук жакшыраак болорун аныкташкан. 550 ℃ жылытуудан кийин пленкалардын көрүнүүчү жарык өткөрүмдүүлүгү 93%, дан өлчөмү болжол менен 37 нм. плазманын жардамы менен колдонулган ыкма пленканын пайда болушунун эң маанилүү фактору болуп саналган пленканын пайда болушу учурунда субстраттын температурасын төмөндөтө алат жана кристаллдуулук да эң маанилүү. Плазманын жардамы менен методу, ошондой эле пленка түзүү учурунда субстрат температурасын төмөндөтүүгө болот, жана ITO пленка чөккөн алынган жакшы көрсөткүчтөрү бар. S. Laux жана башкалар тарабынан даярдалган ITO фильминин каршылыгы. абдан төмөн, 5 * 10-”Ωcm, жана 550nm жарык жутуу 5% дан кем эмес, жана пленканын каршылыгы жана оптикалык өткөрүү жөндөмдүүлүгү, ошондой эле чөкүү учурунда кычкылтек басымын өзгөртүү менен өзгөртүлгөн.
– Бул макаланы чыгарганвакуумдук каптоочу машина өндүрүүчүсүГуандун Чжэнхуа
Посттун убактысы: 23-март-2024