Prensîba Xebatê ya Makîneya Ion Plating çi ye?

Pêçandina îyonêmakîne ji teoriya ku ji hêla DM Mattox ve di salên 1960-an de hatî pêşniyar kirin derketiye holê, û ceribandinên têkildar di wê demê de dest pê kirine; Heta sala 1971-an, Chambers û yên din teknolojiya plakaya îyonê ya tîrêjên elektronê weşandin; Teknolojiya plakaya buharbûna reaktîf (ARE) di rapora Bunshah a sala 1972-an de hate destnîşan kirin, dema ku celebên fîlmên pir hişk ên wekî TiC û TiN hatin hilberandin; Her weha di sala 1972-an de, Smith û Molley teknolojiya katoda vala di pêvajoya pêçandinê de pejirandin. Heta salên 1980-an, plakaya îyonê li Çînê di dawiyê de gihîştibû asta sepandina pîşesaziyê, û pêvajoyên pêçandinê yên wekî plakaya îyonê ya pir-kemberê valahiyê û plakaya îyonê ya kember-derxistina kevanê li pey hev xuya bûn.

Tevahiya pêvajoya xebatê ya plakaya îyonê valahiyê wiha ye: yekem,pompeodeya valahiyê, û paşêpayinzexta valahiyê heta 4X10 ⁻ ³ Paan çêtir, pêdivî ye ku dabînkirina hêzê ya voltaja bilind were girêdan û qadeke plazmaya germahiya nizm a gaza daxistina voltaja nizm di navbera substrat û evaporatorê de were çêkirin. Elektroda substratê bi voltaja bilind a neyînî ya 5000V DC ve girêbide da ku daxistina şewqê ya katodê çêbibe. Îyonên gaza bêbandor li nêzîkî qada şewqa neyînî çêdibin. Ew dikevin qada tarî ya katodê û ji hêla qada elektrîkê ve têne lez kirin û rûyê substratê bombebaran dikin. Ev pêvajoyek paqijkirinê ye, û dûv re dikevin pêvajoya pêçandinê. Bi bandora germkirina bombebaranê, hin materyalên plakkirinê buhar dibin. Qada plazmayê dikeve nav protonan, bi elektron û îyonên gaza bêbandor re li hev dikeve, û beşek piçûk ji wan iyonîze dibin. Ev iyonên iyonîze yên bi enerjiya bilind dê rûyê fîlmê bombebaran bikin û heya radeyekê kalîteya fîlmê baştir bikin.

Prensîba pêçandina îyonên valahiyê ev e: di odeya valahiyê de, bi karanîna diyardeya derxistina gazê an beşa îyonkirî ya madeya buharbûyî, di bin bombebarana îyonên madeya buharbûyî an îyonên gazê de, di heman demê de van madeyên buharbûyî an reaktantên wan li ser substratê têne danîn da ku fîlimek tenik çêbibe. Pêçandina îyonêmakînebuharbûna valahiyê, teknolojiya plazmayê û derxistina şewqa gazê li hev dicivîne, ku ne tenê kalîteya fîlmê baştir dike, lê di heman demê de qada sepandina fîlmê jî berfireh dike. Awantajên vê pêvajoyê difraksiyona bihêz, girêdana baş a fîlmê û cûrbecûr materyalên pêçandinê ne. Prensîba plakaya îyonan cara yekem ji hêla DM Mattox ve hate pêşniyar kirin. Gelek celeb plakaya îyonan hene. Cureyê herî gelemperî germkirina buharbûnê ye, di nav de germkirina berxwedanê, germkirina tîrêjên elektronan, germkirina tîrêjên elektronan ên plazmayê, germkirina enduksîyonê ya frekanseke bilind û rêbazên din ên germkirinê.