Pêvajoya pêçandina îyonê katodê vala

Pêvajoya pêçandina îyonê katodê vala wiha ye:

1、Qûlpên Çîn têxin nav hilweşînê.

٢、Mountkirina parçeya kar.

3, Piştî valakirinê bo 5 × 10-3Pa, gaza argonê ji lûleya zîv têxin odeya pêçanê, û asta valahiya wê li dora 100Pa ye.

4、Hêza biasê vekin.

5, Piştî vêxistina hêza kevanê ji bo vêxistina daketina katoda vala. Daketina şewqdar di lûleya bişkokê de çêdibe, Voltaja daxistinê 800~1000V ye, Herika bilindkirina kevanê 30~50A ye. Ji ber bandora katoda vala ya daketina şewqdar, Tîrbûna herika daketina şewqdar a bilind, Tîrbûna bilind a îyonên mişk di lûleya zîv de dîwarê lûleya avantajê bombebaran dike, Dîwarê lûleyê bi lez germ dike ji bo derxistina herikîna elektronan, moda daxistinê ji daketina şewqdar a ji nişka ve diguhere daketina kevanê, Voltaja 40~70V ye, Herikîn 80~300A ye. Germahiya lûleya zîv digihîje jor 2300K, Inkandesan, Herikeke dendika bilind a elektronên kevanê ji lûleyê derdixe û ber bi anodê ve dişîne.

6, Asta valahiyê sererast bikin. Asta valahiyê ji bo derxistina şewqê ji çekê katodê vala nêzîkî 100 Pa ye, û pileya valahiyê ya pêçandinê 8×10-1~2Pa ye. Ji ber vê yekê, piştî pêxistina derxistina arkê, gaza argonê ya tê de di zûtirîn dem de kêm bikin, Asta valahiyê li gorî rêjeyek guncaw ji bo pêçandinê sererast bikin.

7, Qata bingehîn a bi tîtanyûmê hatiye pêçandin. Herikîna elektronan li ser îngota metalê ya Chin a bi awayekî anodîk hilweşiyayî, Veguherîna enerjiya kînetîk bo enerjiya germî, Buharbûna metalê Chin bi germkirinê, Atomên buharê digihîjin perçeya kar da ku fîlmek tîtanyûmê çêbikin.

8, Depozîsyona TiN. Gaza nîtrojenê tê dayîn odeya pêçandinê, gaza nîtrojenê û atomên buharbûyî dibin iyonên nîtrojen û tîtanyûmê. Li jor xaçerêyê, îhtîmala pevçûnên neelastîk ên atomên buhara tîtanyûmê bi herikên zexm ên elektronên kêm-enerjî re bilindtir e, rêjeya veqetandina metalê digihîje %20~%40. Îyonên tîtanyûmê bi îhtîmaleke mezintir bi nîtrojena gaza reaksiyonê re reaksiyonê nîşan didin, Depozîsyon ji bo bidestxistina qatek fîlmê mantoyê nîtrîdê ye. Çeka katodê ya vala hem çavkaniyek buharbûnê ye, hem jî çavkaniyek din a îyonîzasyonê ye. Di dema pêçandinê de, divê herika kembera elektromagnetîk a li dora xaçerêyê jî were sererast kirin, tîrêjê elektronê ber bi navenda hilweşînê ve bikşînin, bi vî rengî, dendika hêza herikîna elektronê zêde dibe.

9, Hêzê vemirînin. Piştî ku stûriya fîlmê gihîştiye stûriya diyarkirî, dabînkirina hêza kevanê, dabînkirina hêza Bias û dabînkirina hewayê vemirînin.