Oksîda qalayî ya îndyûmê (Oksîda Qalayî ya Îndyûmê, wekî ITO tê binavkirin) materyalên nîvconductor ên celebê-n ên bi giranî dopkirî, bi taybetmendiyên veguhestina ronahiya dîtbar a bilind û berxwedana kêm e, û ji ber vê yekê bi berfirehî di şaneyên rojê, ekranên panela daîre, pencereyên elektrokromîk, elektrolumînesansa fîlma zirav a neorganîk û organîk, dîodên lazer û detektorên ultraviyole û cîhazên din ên fotovoltaîk de, û hwd. de tê bikar anîn. Gelek rêbazên amadekirina fîlmên ITO hene, di nav de danîna lazer a pulsasyonî, sputterkirin, danîna buhara kîmyewî, hilweşandina germî ya spreyê, sol-jel, buharbûn, û hwd. Di nav rêbaza buharbûnê de, ya herî zêde tê bikar anîn buharbûna tîrêjên elektronê ye.
Gelek rê hene ji bo amadekirina fîlma ITO, di nav de danîna lazerê ya pulsasyonî, sputterkirin, danîna buhara kîmyewî, pîrolîza spreyê, sol-jel, buharbûn û hwd., ku rêbaza buharbûnê ya herî zêde tê bikar anîn buharbûna tîrêjên elektronan e. Amadekirina buharbûnê ya fîlmên ITO bi gelemperî du rêbaz hene: yek karanîna alloy In, Sn ya paqijiya bilind wekî materyalê çavkaniyê ye, di atmosfera oksîjenê de ji bo buharbûna reaksiyonê; ya duyemîn karanîna tevliheviya In2O3:, SnO2 ya paqijiya bilind wekî materyalê çavkaniyê ji bo buharbûna rasterast e. Ji bo ku fîlm bi veguheztina bilind û berxwedana nizm were çêkirin, bi gelemperî germahiya substratê ya bilindtir an jî hewcedariya germkirina paşê ya fîlmê hewce dike. HR Fallah û hevkarên wî rêbaza buharbûna tîrêjên elektronan di germahiyên nizm de bikar anîn da ku fîlmên tenik ên ITO deynin, da ku bandora rêjeya danînê, germahiya germkirinê û parametreyên din ên pêvajoyê li ser avahiya fîlmê, taybetmendiyên elektrîkî û optîkî lêkolîn bikin. Wan destnîşan kir ku kêmkirina rêjeya danînê dikare veguheztinê zêde bike û berxwedana fîlmên ku di germahiya nizm de mezin dibin kêm bike. Derbasbûna ronahiya dîtbar ji %92 zêdetir e, û berxwedana wê 7X10-4Ωcm e. Wan fîlmên ITO yên ku di germahiya odeyê de di 350~550℃ de mezin bûne, germ kirin, û dîtin ku germahiya germkirinê çiqas bilindtir be, taybetmendiya krîstalî ya fîlmên ITO ewqas çêtir e. Derbasbûna ronahiya dîtbar a fîlman piştî germkirinê di 550℃ de %93 e, û mezinahiya dendikê nêzîkî 37nm e. Rêbaza bi alîkariya plazmayê dikare germahiya substratê di dema çêbûna fîlmê de jî kêm bike, ku ev faktora herî girîng di çêbûna fîlmê de ye, û krîstalîte jî ya herî girîng e. Rêbaza bi alîkariya plazmayê dikare germahiya substratê di dema çêbûna fîlmê de jî kêm bike, û fîlma ITO ya ku ji danînê hatî bidestxistin performansek baş heye. Berxwedana fîlma ITO ya ku ji hêla S. Laux et al. ve hatî amadekirin. pir kêm e, 5*10-”Ωcm, û vegirtina ronahiyê li 550nm kêmtir ji %5 e, û berxwedana fîlmê û bandfireha optîkî jî bi guhertina zexta oksîjenê di dema danînê de têne guhertin.
- Ev gotar ji hêlaçêkerê makîneya boyaxkirina valahiyêGuangdong Zhenhua
Dema weşandinê: 23ê Adarê, 2024