중공 음극 이온 코팅의 과정은 다음과 같습니다.
1. 턱괴를 붕괴에 넣습니다.
2. 공작물 장착.
3. 진공도를 5×10-3Pa로 한 후, 은관으로부터 코팅실에 아르곤가스를 주입하는데, 이때 진공도는 약 100Pa가 됩니다.
4. 바이어스 전원을 켜세요.
5. 아크 전원을 켜서 중공 음극 방전을 점화합니다. 버튼 튜브에서 글로우 방전이 발생하고 방전 전압은 800~1000V, 아크 발생 전류는 30~50A입니다. 글로우 방전의 중공 음극 효과로 인해 글로우 방전 전류 밀도가 높고 은관 내의 높은 밀도의 이온이 유리관의 벽에 충격을 가하여 전자 흐름이 방출되기 전에 튜브 벽이 빠르게 따뜻해집니다. 방전 모드는 글로우 방전에서 아크 방전으로 갑자기 변경됩니다. 전압은 40~70V, 전류는 80~300A입니다. 은관 온도가 2300K 이상에 도달하면 백열등이 켜지고 튜브에서 고밀도의 아크 전자 흐름이 방출되어 양극으로 발사됩니다.
6. 진공 레벨 조정. 중공 음극 총에서 나오는 글로우 방전의 진공 레벨은 약 100 Pa이고, 코팅의 진공도는 8×10-1~2Pa입니다. 따라서 아크 방전을 점화한 후 가능한 한 빨리 유입되는 아르곤 가스를 줄이고 코팅에 적합한 범위로 진공 레벨을 조정합니다.
7. 티타늄 도금 기본층. 양극적으로 붕괴된 친 금속 잉곳 위로 전자가 흐르고, 운동 에너지가 열 에너지로 변환되고, 가열로 인해 친 금속이 증발하고, 증기 원자가 작업물에 도달하여 티타늄 필름을 형성합니다.
8、TiN 증착.코팅 챔버에 질소 가스를 공급하고, 질소 가스와 증발된 원자는 질소와 티타늄 이온으로 이온화됩니다.도가니 위에서, 티타늄 증기 원자가 저에너지 전자의 밀도 있는 흐름과 비탄성 충돌할 확률이 더 높습니다.금속 해리 속도는 20%~40%로 높습니다.티타늄 이온은 반응 가스 질소와 화학적으로 반응할 가능성이 더 높습니다.질화물 맨틀 필름 층을 얻기 위한 증착.중공 음극 총은 증발원이며, 또 다른 이온화원입니다.코팅하는 동안, 도가니 주변의 전자기 코일의 전류도 조절해야 합니다.전자빔을 붕괴 중심에 집중시켜 전자 흐름의 전력 밀도를 증가시킵니다.
9. 전원을 끕니다. 필름 두께가 미리 정해진 필름 두께에 도달하면 아크 전원 공급 장치, 바이어스 전원 공급 장치 및 공기 공급 장치를 끕니다.
게시 시간: 2023년 7월 8일