ដំណើរការនៃថ្នាំកូតអ៊ីយ៉ុង cathode ប្រហោងមានដូចខាងក្រោម៖
1. ដាក់ Chin ingots នៅក្នុងការដួលរលំ។
2. ការដំឡើងឧបករណ៍។
3. បន្ទាប់ពីការជម្លៀសទៅ 5 × 10-3Pa ឧស្ម័ន argon ត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងបន្ទប់ស្រោបពីបំពង់ប្រាក់ ហើយកម្រិតខ្វះចន្លោះគឺប្រហែល 100Pa ។
4. បើកថាមពលលំអៀង។
5, បន្ទាប់ពីបើកថាមពលធ្នូដើម្បីបញ្ឆេះការហូរចេញ cathode ប្រហោង។ ការបញ្ចេញពន្លឺត្រូវបានបង្កើតនៅក្នុងបំពង់ប៊ូតុងវ៉ុលបញ្ចេញគឺ 800 ~ 1000V, ចរន្តកើនឡើងនៃធ្នូគឺ 30 ~ 50A. ដោយសារតែឥទ្ធិពល cathode ប្រហោងនៃការបញ្ចេញពន្លឺ ការបញ្ចេញពន្លឺខ្ពស់ ការបញ្ចេញចរន្តខ្ពស់នៃចរន្ត។ បំពង់បំផ្ទុះជញ្ជាំងនៃបំពង់ vantage, ធ្វើឱ្យជញ្ជាំងបំពង់ឡើងកំដៅយ៉ាងលឿនរហូតដល់ការបញ្ចេញលំហូរអេឡិចត្រុង, របៀបបញ្ចេញទឹករំអិលពីការបញ្ចេញពន្លឺផ្លាស់ប្តូរភ្លាមៗទៅជាការហូរចេញធ្នូ, វ៉ុលគឺ 40 ~ 70V, បច្ចុប្បន្នគឺ 80 ~ 300A. សីតុណ្ហភាពបំពង់ប្រាក់ឈានដល់ខាងលើ 2300K ចរន្តអគ្គិសនី បញ្ចេញចរន្តអគ្គិសនីពីចរន្តអគ្គិសនី។ បំពង់និងបាញ់ទៅ anode ។
6, ការលៃតម្រូវកម្រិតបូមធូលី។ កម្រិតទំនេរសម្រាប់ការបញ្ចេញពន្លឺពីកាំភ្លើង cathode ប្រហោងគឺប្រហែល 100 ប៉ា ហើយកម្រិតខ្វះចន្លោះនៃថ្នាំកូតគឺ 8 × 10-1 ~ 2Pa ដូច្នេះហើយបន្ទាប់ពីការបញ្ឆេះនៃការបញ្ចេញអាកុន កាត់បន្ថយឧស្ម័ន argon ចូលឱ្យបានឆាប់តាមដែលអាចធ្វើទៅបាន លៃតម្រូវកម្រិតដែលសមរម្យសម្រាប់ចន្លោះប្រហោង។
7. ស្រទាប់មូលដ្ឋានធ្វើពីទីតានីញ៉ូម។ លំហូរអេឡិចត្រុងទៅលើលោហៈធាតុ Chin ដែលដួលរលំដោយ anodically ការបំប្លែងថាមពល kinetic ទៅជាថាមពលកំដៅ ការហួតនៃលោហៈ Chin ដោយកំដៅ អាតូមចំហាយទឹកឈានដល់ workpiece ដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តទីតានីញ៉ូម។
8. ការទម្លាក់ឧស្ម័ន TiN.Nitrogen ត្រូវបានផ្គត់ផ្គង់ទៅបន្ទប់ស្រោប ឧស្ម័នអាសូត និងអាតូមហួតត្រូវបាន ionized ទៅជា ions អាសូត និង titanium។ នៅពីលើ Crucible ប្រូបាប៊ីលីតេកាន់តែខ្ពស់នៃការប៉ះទង្គិចគ្នាមិនស្មើគ្នានៃអាតូមចំហាយទីតាញ៉ូម ជាមួយនឹងចរន្តក្រាស់នៃ អត្រាថាមពលទាប លោហធាតុគឺការបែកខ្ញែក។ 20% ~ 40%, អ៊ីយ៉ុងទីតានីញ៉ូមទំនងជាមានប្រតិកម្មគីមីជាមួយអាសូតឧស្ម័នប្រតិកម្ម ការដាក់ដើម្បីទទួលបានស្រទាប់ខ្សែភាពយន្ត nitride mantle ។ កាំភ្លើង cathode ប្រហោងគឺជាប្រភពចំហាយទឹក ដែលជាប្រភពមួយទៀតនៃអ៊ីយ៉ូដ។ ក្នុងអំឡុងពេលនៃការស្រោប ចរន្តនៃរបុំអេឡិចត្រូម៉ាញេទិកជុំវិញឈើឆ្កាងក៏គួរតែត្រូវបានកែតម្រូវផងដែរ កម្លាំងនៃការដួលរលំ ផ្តោតទៅលើមជ្ឈមណ្ឌលថាមពល។ លំហូរអេឡិចត្រុងកើនឡើង។
9. បិទថាមពល។ បន្ទាប់ពីកម្រាស់ខ្សែភាពយន្តឈានដល់កម្រាស់ខ្សែភាពយន្តដែលបានកំណត់ទុកជាមុន បិទការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលធ្នូ ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលលំអៀង និងការផ្គត់ផ្គង់ខ្យល់។
ពេលវេលាផ្សាយ៖ កក្កដា-០៨-២០២៣