Indium Tin Oxide (Indium Tin Oxide ហៅថា ITO) គឺជាគម្លាតនៃក្រុមតន្រ្តីដ៏ធំទូលាយ សម្ភារៈ semiconductor n-type doped យ៉ាងខ្លាំង ជាមួយនឹងការបញ្ជូនពន្លឺដែលអាចមើលឃើញខ្ពស់ និងលក្ខណៈធន់ទ្រាំទាប ហើយដូច្នេះត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ អេក្រង់រាបស្មើ បង្អួច electrochromic សារធាតុ inorganic និងសរីរាង្គ សារធាតុ electroluminescence ultraviolet និងឡាស៊ែរផ្សេងៗទៀត។ មានវិធីសាស្រ្តជាច្រើនក្នុងការរៀបចំខ្សែភាពយន្ត ITO រួមមាន ការទម្លាក់ឡាស៊ែរជីពចរ ការខ្ចាត់ខ្ចាយ ការបំភាយចំហាយគីមី ការបំផ្លិចបំផ្លាញកម្ដៅ ការបាញ់ថ្នាំ សូលុយស្យុង ការហួតជាដើម។
មានវិធីជាច្រើនក្នុងការរៀបចំខ្សែភាពយន្ត ITO រួមទាំងការទម្លាក់ឡាស៊ែរជីពចរ ការបញ្ចេញទឹករំអិល ការបញ្ចេញចំហាយគីមី ការបាញ់ថ្នាំ pyrolysis សារធាតុ sol-gel ការហួត និងផ្សេងៗទៀត ដែលវិធីសាស្ត្ររំហួតដែលប្រើជាទូទៅបំផុតគឺការរំហួតតាមធ្នឹមអេឡិចត្រុង។ ការរៀបចំការហួតនៃខ្សែភាពយន្ត ITO ជាធម្មតាមានវិធីពីរយ៉ាង៖ មួយគឺការប្រើប្រាស់ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់នៅក្នុង, Sn alloy ជាសម្ភារៈប្រភព, នៅក្នុងបរិយាកាសអុកស៊ីសែនសម្រាប់ការហួតប្រតិកម្ម។ ទីពីរគឺការប្រើប្រាស់នៃល្បាយ In2O3:, SnO2 ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ជាសម្ភារៈប្រភពសម្រាប់ការហួតដោយផ្ទាល់។ ក្នុងគោលបំណងដើម្បីធ្វើឱ្យខ្សែភាពយន្តជាមួយនឹងការបញ្ជូនខ្ពស់និងធន់ទ្រាំទាប, ជាទូទៅតម្រូវឱ្យមានសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមខ្ពស់ឬតម្រូវការសម្រាប់ការ annealing ជាបន្តបន្ទាប់នៃខ្សែភាពយន្តនេះ។ HR Fallah et al ។ បានប្រើវិធីសាស្រ្តរំហួតរបស់ធ្នឹមអេឡិចត្រុងនៅសីតុណ្ហភាពទាបដើម្បីដាក់ខ្សែភាពយន្តស្តើង ITO ដើម្បីសិក្សាពីឥទ្ធិពលនៃអត្រានៃការទម្លាក់ សីតុណ្ហភាព annealing និងប៉ារ៉ាម៉ែត្រដំណើរការផ្សេងទៀតលើរចនាសម្ព័ន្ធនៃខ្សែភាពយន្ត លក្ខណៈសម្បត្តិអគ្គិសនី និងអុបទិក។ ពួកគេបានចង្អុលបង្ហាញថាការបន្ថយអត្រានៃការដាក់ប្រាក់អាចបង្កើនការបញ្ជូន និងកាត់បន្ថយភាពធន់នៃខ្សែភាពយន្តដែលលូតលាស់នៅសីតុណ្ហភាពទាប។ ការបញ្ជូនពន្លឺដែលអាចមើលឃើញគឺច្រើនជាង 92% ហើយភាពធន់គឺ 7X10-4Ωcm ។ ពួកគេបានបំប្លែងខ្សែភាពយន្ត ITO ដែលលូតលាស់នៅសីតុណ្ហភាពបន្ទប់នៅ 350 ~ 550 ℃ ហើយបានរកឃើញថា សីតុណ្ហភាពនៃការ annealing កាន់តែខ្ពស់ ទ្រព្យសម្បត្តិគ្រីស្តាល់របស់ខ្សែភាពយន្ត ITO កាន់តែប្រសើរ។ ការបញ្ជូនពន្លឺដែលអាចមើលឃើញនៃខ្សែភាពយន្តបន្ទាប់ពីការ annealing នៅ 550 ℃គឺ 93% និងទំហំគ្រាប់ធញ្ញជាតិគឺប្រហែល 37nm ។ វិធីសាស្ត្រជំនួយប្លាស្មាក៏អាចកាត់បន្ថយសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមកំឡុងពេលបង្កើតខ្សែភាពយន្ត ដែលជាកត្តាសំខាន់បំផុតក្នុងការបង្កើតខ្សែភាពយន្ត ហើយគ្រីស្តាល់ក៏ជាកត្តាសំខាន់បំផុតផងដែរ។ វិធីសាស្ត្រជំនួយប្លាស្មាក៏អាចកាត់បន្ថយសីតុណ្ហភាពស្រទាប់ខាងក្រោមកំឡុងពេលបង្កើតខ្សែភាពយន្ត ហើយខ្សែភាពយន្ត ITO ដែលទទួលបានពីការទម្លាក់មានដំណើរការល្អ។ ភាពធន់នៃខ្សែភាពយន្ត ITO ដែលរៀបចំដោយ S. Laux et al ។ គឺទាបណាស់ 5 * 10-”Ωcm ហើយការស្រូបពន្លឺនៅ 550nm គឺតិចជាង 5% ហើយភាពធន់នៃខ្សែភាពយន្ត និងកម្រិតបញ្ជូនអុបទិកក៏ត្រូវបានផ្លាស់ប្តូរផងដែរ ដោយការផ្លាស់ប្តូរសម្ពាធអុកស៊ីហ៊្សែនកំឡុងពេលបញ្ចេញ។
- អត្ថបទនេះត្រូវបានចេញផ្សាយដោយក្រុមហ៊ុនផលិតម៉ាស៊ីនបូមធូលីក្វាងទុងហ្សេនហួ
ពេលវេលាបង្ហោះ៖ ថ្ងៃទី ២៣ ខែមីនា ឆ្នាំ ២០២៤