Қуыс катодты ионды жабу процесі келесідей:
1、Иек құймаларын опырылған жерге салыңыз.
2, Дайындаманы орнату.
3、5×10-3Па дейін эвакуациялаудан кейін күміс түтіктен жабын камерасына аргон газы енгізіледі, ал вакуум деңгейі 100Па шамасында болады.
4、Қиял қуатын қосыңыз.
5, Қуыс катодты разрядты тұтандыру үшін доға қуатын қосқаннан кейін. Жарқырау разряды түймелік түтікте пайда болады, Разряд кернеуі 800 ~ 1000 В, Доғаны көтеру тогы 30 ~ 50 А. Жарқырау разрядының қуыс катод әсеріне байланысты, Жарқырау токтарының жоғары тығыздығы, күміс түтік бұрыштық түтіктің қабырғасын бомбалайды, Түтік қабырғасын электрон ағынының эмиссиясына дейін жылдам қыздырыңыз, жарқырау разрядынан разряд режимі доғалық разрядқа кенет ауысады, Кернеу 40 ~ 70 В, ток 80 ~ 300 А. Күміс түтіктің температурасы 2300K-тан жоғары, қыздыру шамдары, электр ағындары, E. анодқа атылды.
6、Вакуум деңгейін реттеу. Қуыс катодты пистолеттен жарқыраған разрядқа арналған вакуум деңгейі шамамен 100 Па, Ал жабынның вакуумдық дәрежесі 8×10-1~2Па. Сондықтан, доғаның разряды тұтанғаннан кейін, вакуумды азайту үшін келетін аргон газының деңгейін мүмкіндігінше қысқартыңыз.
7、Титан жалатылған негіз қабаты. Анодты түрде құлаған иек металының құймасына электрон ағыны, кинетикалық энергияның жылу энергиясына айналуы, қыздыру арқылы иек металының булануы, титан пленкасын қалыптастыру үшін бу атомдары дайындамаға жетеді.
8、TiN тұндыру. Азот газы жабу камерасына беріледі, Азот газы және буланған атомдар азот және титан иондарына иондалады. Тигельдің үстінде, Титан буының атомдарының икемді емес соқтығысу ықтималдығы жоғары, электроциализацияның тығыз ағындарымен, металдың энергиясы төмен болғандықтан 20%~40%.,Титан иондары азот газымен химиялық реакцияға түсу ықтималдығы жоғары.Нитридті мантия қабықшасын алу үшін тұндыру. Қуыс катодты пистолет әрі булану көзі болып табылады，Иондаудың тағы бір көзі.Қаптау кезінде,Титанның айналасындағы электромагниттік катушканың тогы тигельдің ортасы да реттелуі керек. коллапс,Осылайша, электрон ағынының қуат тығыздығы артады.
9、Қуатты өшіріңіз.Пленка қалыңдығы алдын ала белгіленген пленка қалыңдығына жеткеннен кейін, доғалық қуат көзін өшіріңіз, ығысу қуат көзі мен ауа беру.
Жіберу уақыты: 08 шілде 2023 ж