იონური საფარიმანქანა წარმოიშვა დ.მ. მატოქსის მიერ 1960-იან წლებში შემოთავაზებული თეორიიდან და შესაბამისი ექსპერიმენტები იმ დროს დაიწყო; 1971 წლამდე ჩემბერსმა და სხვებმა გამოაქვეყნეს ელექტრონული სხივური იონური მოოქროვების ტექნოლოგია; რეაქტიული აორთქლების მოოქროვების (ARE) ტექნოლოგია აღინიშნა ბანშაჰის 1972 წლის ანგარიშში, როდესაც იწარმოებოდა ზემყარი ფირის ტიპები, როგორიცაა TiC და TiN; ასევე 1972 წელს სმიტმა და მოლიმ დაფარვის პროცესში გამოიყენეს ღრუ კათოდური ტექნოლოგია. 1980-იანი წლებისთვის ჩინეთში იონურმა მოოქროვებამ საბოლოოდ მიაღწია სამრეწველო გამოყენების დონეს და თანმიმდევრულად გამოჩნდა საფარის პროცესები, როგორიცაა ვაკუუმური მრავალრკალური იონური მოოქროვება და რკალური განმუხტვის იონური მოოქროვება.
ვაკუუმური იონური მოოქროვების მთელი სამუშაო პროცესი შემდეგია: პირველი,ტუმბოვაკუუმის კამერა და შემდეგლოდინივაკუუმური წნევა 4X10 ⁻ ³ Pa-მდეან უკეთესი, აუცილებელია მაღალი ძაბვის დენის წყაროს შეერთება და დაბალი ძაბვის განმუხტვის აირის დაბალი ტემპერატურის პლაზმური არეალის შექმნა სუბსტრატსა და აორთქლებას შორის. კათოდის მბზინავი განმუხტვის შესაქმნელად სუბსტრატის ელექტროდი შეაერთეთ 5000 ვოლტიანი უარყოფითი მაღალი ძაბვით. ინერტული აირის იონები წარმოიქმნება უარყოფითი მბზინავი არეალის მახლობლად. ისინი შედიან კათოდის ბნელ არეალში, აჩქარებულნი არიან ელექტრული ველით და ბომბავენ სუბსტრატის ზედაპირს. ეს არის გაწმენდის პროცესი, შემდეგ კი შედიან საფარის პროცესში. ბომბარდირების გათბობის ეფექტის საშუალებით, ზოგიერთი მოპირკეთებული მასალა ორთქლდება. პლაზმური არე შედის პროტონებში, ეჯახება ელექტრონებს და ინერტულ აირის იონებს და მათი მცირე ნაწილი იონიზებულია. ეს მაღალი ენერგიის იონიზებული იონები ბომბავენ ფირის ზედაპირს და გარკვეულწილად აუმჯობესებენ ფირის ხარისხს.
ვაკუუმური იონური მოპირკეთების პრინციპი ასეთია: ვაკუუმურ კამერაში, გაზის განმუხტვის ფენომენის ან აორთქლებული მასალის იონიზებული ნაწილის გამოყენებით, აორთქლებული მასალის იონების ან გაზის იონების დაბომბვის ქვეშ, ეს აორთქლებული ნივთიერებები ან მათი რეაქტანტები ერთდროულად დაილექება სუბსტრატზე თხელი ფენის მისაღებად. იონური საფარიმანქანააერთიანებს ვაკუუმური აორთქლების, პლაზმური ტექნოლოგიისა და გაზის ნათების განმუხტვის მეთოდებს, რაც არა მხოლოდ აუმჯობესებს ფირის ხარისხს, არამედ აფართოებს ფირის გამოყენების დიაპაზონს. ამ პროცესის უპირატესობებია ძლიერი დიფრაქცია, ფირის კარგი ადჰეზია და სხვადასხვა საფარის მასალები. იონური მოპირკეთების პრინციპი პირველად DM Mattox-მა შემოგვთავაზა. იონური მოპირკეთების მრავალი სახეობა არსებობს. ყველაზე გავრცელებული ტიპია აორთქლების გათბობა, მათ შორის წინაღობით გათბობა, ელექტრონული სხივური გათბობა, პლაზმური ელექტრონული სხივური გათბობა, მაღალი სიხშირის ინდუქციური გათბობა და გათბობის სხვა მეთოდები.
გამოქვეყნების დრო: 2023 წლის 14 თებერვალი