Proses pelapisan ion katoda berongga kaya ing ngisor iki:
1. Sijine ingot Chin ing ambruk.
2. Pemasangan benda kerja.
3, Sawise evakuasi kanggo 5 × 10-3Pa, gas argon wis ngenalaken menyang kamar nutupi saka tabung perak, lan tingkat vakum watara 100Pa.
4. Nguripake daya bias.
5, Sawise nguripake daya busur kanggo ignite discharge katoda kothong. discharge cemlorot kui ing tabung tombol, voltase Discharge punika 800 ~ 1000V, The busur-mundhakaken saiki 30 ~ 50A. Amarga efek katoda kothong saka discharge cemlorot, Kapadhetan dhuwur tembok discharge Kapadhetan dhuwur, Kapadhetan dhuwur ing tembok discharge saka tabung vantage, Nggawe tembok tabung kanthi cepet anget nganti emisi aliran elektron, ing mode discharge saka discharge cemlorot owah-owahan dadakan kanggo discharge busur, Tegangan 40 ~ 70V, Saiki 80 ~ 300A. Suhu tabung Silver tekan ndhuwur 2300K, Pijar Kapadhetan saka tabung, lan Kapadhetan dhuwur saka electron.
6. Imbuhan tingkat vakum. Tingkat vakum kanggo discharge cemlorot saka bedhil katoda kothong kira-kira 100 Pa, Lan tingkat vakum lapisan 8 × 10-1 ~ 2Pa. Mulane, Sawise kontak saka discharge busur, Ngurangi gas argon mlebu sanalika bisa kanggo lapisan vakum cocok kanggo sawetara cocok.
7. Lapisan dasar dilapisi Titanium. Aliran elektron menyang ingot logam Chin sing ambruk sacara anod, Konversi energi kinetik dadi energi termal, Penguapan logam Chin kanthi pemanasan, Atom uap tekan benda kerja kanggo mbentuk film titanium.
8, Deposition saka TiN.Nitrogen gas diwenehake kanggo kamar nutupi, gas nitrogen lan atom nguap sing ionized menyang nitrogen lan titanium ions.Ndhuwur crucible, Kemungkinan luwih saka tabrakan inelastic saka atom uap titanium karo kandhel lepen saka elektron kurang-energi, The metal dissociation% 0% are 2%. liyane kamungkinan kanggo nanggepi kimia karo nitrogen gas reaksi, Deposition kanggo njupuk lapisan film mantel nitride. Gun katoda kothong iku loro sumber penguapan, sumber liyane saka ionization. Sajrone nutupi, Saiki saka coil elektromagnetik sak crucible uga kudu diatur, Fokus sinar elektron menyang tengah ambruk daya, Dadi Kapadhetan elektron tambah.
9, Power Off.After kekandelan film tekan predetermined film kekandelan, Pateni sumber daya busur, Bias sumber daya lan sumber online.
Wektu kirim: Jul-08-2023