תחמוצת אינדיום בדיל (אינדיום בדיל אוקסיד, המכונה ITO) היא חומר מוליך למחצה מסוג n בעל פער פס רחב, מסומם בכבדות, עם העברת אור נראה גבוהה ומאפייני התנגדות נמוכים, ולכן נמצא בשימוש נרחב בתאים סולאריים, צגים שטוחים, חלונות אלקטרוכרומיים, אלקטרולומינסנציה של סרט דק אנאורגני ואורגני, דיודות לייזר וגלאי אולטרה סגול ומכשירים פוטו-וולטאיים אחרים, ועוד. ישנן שיטות רבות להכנת סרטי ITO, כולל שיקוע לייזר פועם, התזה, שיקוע אדים כימי, פירוק תרמי בהתזה, סול-ג'ל, אידוי ועוד. מבין שיטות האידוי, הנפוצה ביותר היא אידוי אלומת אלקטרונים.
ישנן דרכים רבות להכין סרטי ITO, כולל שיקוע לייזר פועם, התזה, שיקוע אדים כימי, פירוליזה בהתזה, סול-ג'ל, אידוי וכן הלאה, כאשר שיטת האידוי הנפוצה ביותר היא אידוי אלומת אלקטרונים. הכנת אידוי של סרטי ITO בדרך כלל כוללת שתי דרכים: האחת היא שימוש בסגסוגת In, Sn בעלת טוהר גבוה כחומר המקור, באטמוספרת חמצן לאידוי התגובה; השנייה היא שימוש בתערובת In2O3:, SnO2 בעלת טוהר גבוה כחומר המקור לאידוי ישיר. על מנת לייצר סרט עם העברה גבוהה והתנגדות נמוכה, בדרך כלל נדרשת טמפרטורת מצע גבוהה יותר או צורך בחישול נוסף של הסרט. HR Fallah ועמיתיו השתמשו בשיטת אידוי אלומת אלקטרונים בטמפרטורות נמוכות כדי להפקיד סרטי ITO דקים, כדי לחקור את השפעת קצב השיקוע, טמפרטורת החישול ופרמטרי תהליך אחרים על מבנה הסרט, תכונות חשמליות ואופטיות. הם ציינו כי הורדת קצב השיקוע יכולה להגדיל את ההעברה ולהקטין את ההתנגדות של הסרטים שגדלו בטמפרטורה נמוכה. העברת האור הנראה היא יותר מ-92%, וההתנגדות היא 7X10-4Ωcm. הם חישלו את סרטי ה-ITO שגודלו בטמפרטורת החדר ב-350~550℃, ומצאו שככל שטמפרטורת החישול גבוהה יותר, כך התכונה הגבישית של סרטי ה-ITO טובה יותר. העברת האור הנראה של הסרטים לאחר חישול ב-550℃ היא 93%, וגודל הגרגירים הוא כ-37 ננומטר. שיטת הפלזמה יכולה גם להפחית את טמפרטורת המצע במהלך היווצרות הסרט, שהוא הגורם החשוב ביותר ביצירת הסרט, וגם הגבישיות היא החשובה ביותר. שיטת הפלזמה יכולה גם להפחית את טמפרטורת המצע במהלך היווצרות הסרט, ולסרט ה-ITO המתקבל מהשקיעה יש ביצועים טובים. ההתנגדות של סרט ה-ITO שהוכן על ידי ש. לאוקס ואחרים. הוא נמוך מאוד, 5*10-”Ωcm, וספיגת האור ב-550nm היא פחות מ-5%, וגם ההתנגדות של הסרט ורוחב הפס האופטי משתנים על ידי שינוי לחץ החמצן במהלך ההפקדה.
–מאמר זה פורסם על ידייצרן מכונות ציפוי ואקוםגואנגדונג ז'נהואה
זמן פרסום: 23 במרץ 2024