Jónhúðunvél á rætur að rekja til kenningarinnar sem DM Mattox lagði til á sjöunda áratugnum og samsvarandi tilraunir hófust á þeim tíma; Þar til árið 1971 birtu Chambers og fleiri tækni rafeindageislajónahúðunar; Í Bunshah-skýrslunni árið 1972 var bent á tækni með hvarfgjörnum uppgufunarefnum (ARE), þegar ofurharðar filmutegundir eins og TiC og TiN voru framleiddar; Einnig árið 1972 tóku Smith og Molley upp holkaskautstækni í húðunarferlinu. Á níunda áratugnum hafði jónahúðun í Kína loksins náð iðnaðarnotkunarstigi og húðunarferli eins og lofttæmis-fjölbogajónahúðun og bogaútblástursjónahúðun komu fram hver á eftir annarri.
Allt vinnuferlið við lofttæmisjónhúðun er sem hér segir: í fyrsta lagi,dælalofttæmishólfið, og síðanbíðalofttæmisþrýstingurinn í 4X10 ⁻³ Paeða betra, það er nauðsynlegt að tengja háspennuaflgjafann og byggja upp lághita plasmasvæði með lágspennuútblástursgasi milli undirlagsins og uppgufunartækisins. Tengdu undirlagsrafskautið við 5000V DC neikvæða háspennu til að mynda glóútblástur á bakskautinu. Óvirkar gasjónir myndast nálægt neikvæðu glósvæðinu. Þær fara inn í myrku svæðið á bakskautinu og eru hraðaðar af rafsviðinu og skjóta á yfirborð undirlagsins. Þetta er hreinsunarferli og fara síðan inn í húðunarferlið. Með áhrifum sprengjuhitunar gufa sum húðunarefni upp. Plasmasvæðið fer inn í róteindir, rekst á rafeindir og óvirkar gasjónir og lítill hluti þeirra jónast. Þessar jónuðu jónir með mikilli orku munu skjóta á yfirborð filmunnar og bæta filmugæði að einhverju leyti.
Meginreglan á bak við lofttæmis jónhúðun er: í lofttæmishólfinu, með því að nota gasútblástursfyrirbærið eða jónaða hluta gufaðs efnis, undir sprengjuáhrifum gufaðs efnisjóna eða gasjóna, eru þessi gufuðu efni eða hvarfefni þeirra sett samtímis á undirlagið til að fá þunna filmu. Jónhúðuninvélsameinar lofttæmisuppgufun, plasmatækni og gasglóandi útskrift, sem bætir ekki aðeins gæði filmunnar heldur víkkar einnig notkunarsvið filmunnar. Kostir þessarar aðferðar eru sterk dreifing, góð viðloðun filmunnar og fjölbreytt húðunarefni. Meginreglan um jónahúðun var fyrst lögð til af DM Mattox. Það eru margar gerðir af jónahúðun. Algengasta gerðin er uppgufunarhitun, þar á meðal viðnámshitun, rafeindageislahitun, plasmarafeindageislahitun, hátíðni rafleiðnihitun og aðrar hitunaraðferðir.
Birtingartími: 14. febrúar 2023