Ferlið við að húða hola katóðujón er sem hér segir:
1. Setjið Chin-stöngina í hrunið.
2. Uppsetning vinnustykkisins.
3. Eftir að lofttæmi hefur verið náð niður í 5 × 10⁻³ Pa er argongasi dælt inn í húðunarhólfið úr silfurrörinu og tómarúmið er um 100 Pa.
4. Kveiktu á hlutdrægniaflinu.
5. Eftir að kveikt hefur verið á boganum til að kveikja á holu katóðuútskriftinni. Glóútskriftin myndast í hnapprörinu. Útskriftarspennan er 800~1000V, bogastraumurinn er 30~50A. Vegna áhrifa holu katóðuútskriftarinnar er mikil glóútskriftarstraumþéttleiki. Mikill þéttleiki rauðra jóna í silfurrörinu sprengir vegg sjónrörsins. Veggir rörsins hitna hratt við losun rafeinda. Útskriftarháttur frá glóútskriftinni breytist skyndilega í bogaútskrift. Spennan er 40~70V, straumurinn er 80~300A. Hitastig silfurrörsins nær yfir 2300K. Glóperan gefur frá sér þéttan straum af bogarafeindum frá rörinu sem eru skotnar að anóðunni.
6. Stilling á lofttæmi. Lofttæmi fyrir glóútblástur frá holu katóðubyssu er um 100 Pa og lofttæmi húðunar er 8 × 10-1 ~ 2 Pa. Þess vegna, eftir að bogaútblástur hefur kviknað, skal draga úr innstreymi argongassins eins fljótt og auðið er og stilla lofttæmið á bil sem hentar fyrir húðun.
7. Títanhúðað grunnlag. Rafeindir flæða á anodískt samanbrotna Chin málmstöngina, hreyfiorka umbreytist í varmaorku, Chin málmurinn gufar upp með upphitun, gufuatóm ná til vinnustykkisins og mynda títanfilmu.
8. Útfelling TiN. Köfnunarefnisgas er veitt í húðunarklefann. Köfnunarefnisgas og uppgufuð atóm eru jónuð í köfnunarefni og títanjónir. Fyrir ofan deigluna eru meiri líkur á óteygjanlegum árekstri títan gufuatóma við þétta strauma af lágorku rafeindum. Sundrunarhraði málmsins er allt að 20% ~ 40%. Títanjónir eru líklegri til að hvarfast efnafræðilega við köfnunarefni hvarfgassins. Útfellingin myndar nítríðmöttulslag. Hola katóðubyssan er bæði uppgufunargjafi og önnur jónunargjafi. Við húðun ætti einnig að stilla straum rafsegulspólunarinnar í kringum deigluna. Beina rafeindageislanum að miðju hrunsins og þannig aukast aflþéttleiki rafeindaflæðisins.
9. Slökkvið á rafmagninu. Eftir að filmuþykktin nær fyrirfram ákveðinni filmuþykkt skal slökkva á aflgjafanum fyrir boga, hlutdrægniaflgjafanum og loftinnstreyminu.
Birtingartími: 8. júlí 2023