Indíumtínoxíð (Indíumtínoxíð, einnig þekkt sem ITO) er breitt bandgap, þungt efnt n-gerð hálfleiðaraefni, með mikla ljósgegndræpi og lága viðnámseiginleika, og því mikið notað í sólarsellum, flatskjám, raflituðum gluggum, ólífrænum og lífrænum þunnfilmum með rafljómun, leysigeisladíóðum og útfjólubláum skynjurum og öðrum sólarljósatækjum, o.s.frv. Margar aðferðir eru til að búa til ITO-filmur, þar á meðal púlsuð leysigeislaútfelling, spútrun, efnagufuútfelling, úðahitaupplausn, sól-gel, uppgufun, o.s.frv. Meðal uppgufunaraðferðanna er rafeindageislauppgufun sú algengasta.
Það eru margar leiðir til að búa til ITO-filmu, þar á meðal púlsað leysigeislaútfellingu, spútrun, efnagufuútfellingu, úðahitasundrun, sól-gel, uppgufun og svo framvegis, og algengasta uppgufunaraðferðin er rafeindageislauppgufun. Uppgufunaraðferð ITO-filma er venjulega á tveimur vegu: önnur er að nota mjög hreina In,Sn málmblöndu sem upprunaefni í súrefnislofti fyrir uppgufunina; hin er að nota mjög hreina In2O3:,SnO2 blöndu sem upprunaefni fyrir beina uppgufun. Til að búa til filmu með mikilli gegndræpi og lágu viðnámi þarf almennt hærra undirlagshitastig eða þörf er á síðari glæðingu filmunnar. HR Fallah o.fl. notuðu rafeindageislauppgufunaraðferðina við lágt hitastig til að setja ITO-þunnfilmur út, til að rannsaka áhrif útfellingarhraða, glæðingarhitastigs og annarra ferlisbreyta á uppbyggingu filmunnar, rafmagns- og ljósfræðilega eiginleika. Þeir bentu á að lækkun á útfellingarhraða gæti aukið gegndræpi og minnkað viðnám lághitamyndaðra filma. Gegndræpi sýnilegs ljóss er meira en 92% og viðnámið er 7X10-4Ωcm. Þeir glóðuðu ITO-filmurnar sem ræktaðar voru við stofuhita við 350~550℃ og komust að því að því hærra sem glóðunarhitastigið er, því betri eru kristöllunareiginleikar ITO-filmanna. Gegndræpi sýnilegs ljóss filmunnar eftir glóðun við 550℃ er 93% og kornastærðin er um 37 nm. Plasmaaðstoðaða aðferðin getur einnig lækkað undirlagshitastig við myndun filmunnar, sem er mikilvægasti þátturinn í myndun filmunnar, og kristöllunin er einnig mikilvægasti þátturinn. Plasmaaðstoðaða aðferðin getur einnig lækkað undirlagshitastig við myndun filmunnar og ITO-filman sem fæst við útfellingu hefur góða eiginleika. Viðnám ITO-filmunnar sem S. Laux o.fl. útbjuggu. er mjög lágt, 5*10-”Ωcm, og ljósgleypni við 550nm er minni en 5%, og viðnám filmunnar og ljósbandvídd breytast einnig með því að breyta súrefnisþrýstingnum meðan á útfellingu stendur.
–Þessi grein er gefin út afframleiðandi tómarúmhúðunarvélaGuangdong Zhenhua
Birtingartími: 23. mars 2024