Խոռոչ կաթոդի իոնային ծածկույթի գործընթացը

Խոռոչ կաթոդի իոնային ծածկույթի գործընթացը հետևյալն է.

1、Կինի ձուլակտորները դրեք փլուզման մեջ։

2. Աշխատանքային մասի տեղադրումը։

3. 5×10-3Pa-ի վակուումից հետո արծաթե խողովակից ծածկույթի խցիկի մեջ ներմուծվում է արգոն գազ, և վակուումի մակարդակը մոտ 100Pa է։

4. Միացրեք լարման հզորությունը։

5. Աղեղային հոսանքը միացնելուց հետո՝ խոռոչ կաթոդային պարպումը բռնկելու համար, լույսի պարպումը առաջանում է կոճակային խողովակում, պարպման լարումը 800~1000 Վ է, աղեղի բարձրացման հոսանքը՝ 30~50 Ա: Փայլի պարպման խոռոչ կաթոդային էֆեկտի պատճառով, լույսի պարպման բարձր հոսանքի խտությունը, արծաթե խողովակում առնետի իոնների բարձր խտությունը ռմբակոծում է դիտակետային խողովակի պատը, ստիպում է խողովակի պատը արագ տաքանալ էլեկտրոնային հոսքի արձակման համար, պարպման ռեժիմը լույսի պարպումից հանկարծակի փոխվում է աղեղային պարպման, լարումը 40~70 Վ է, հոսանքը՝ 80~300 Ա: Արծաթե խողովակի ջերմաստիճանը հասնում է 2300 Կ-ից բարձր, շիկացած է, խողովակից արձակում է աղեղային էլեկտրոնների բարձր խտության հոսք և նետվում է անոդ:

6. Վակուումի մակարդակի կարգավորում։ Խոռոչ կաթոդային թնդանոթից լուսարձակման վակուումի մակարդակը մոտ 100 Պա է, իսկ ծածկույթի վակուումի աստիճանը՝ 8×10-1~2 Պա։ Հետևաբար, աղեղային պարպման բռնկումից հետո հնարավորինս շուտ նվազեցրեք մուտքային արգոն գազի քանակը։ Կարգավորեք վակուումի մակարդակը ծածկույթի համար հարմար միջակայքում։

7, Տիտանիապատ հիմքային շերտ։ Էլեկտրոնների հոսք անոդային կերպով փլուզված Չին մետաղական ձուլակտորի վրա, կինետիկ էներգիայի փոխակերպում ջերմային էներգիայի, Չին մետաղի գոլորշիացում տաքացման միջոցով, գոլորշու ատոմները հասնում են աշխատանքային մասին՝ առաջացնելով տիտանի թաղանթ։

8. TiN-ի նստեցում։ Ազոտի գազը մատակարարվում է ծածկույթի խցիկ, ազոտի գազը և գոլորշիացված ատոմները իոնացվում են ազոտի և տիտանի իոնների։ Հալոցքի վերևում տիտանի գոլորշու ատոմների և ցածր էներգիայի էլեկտրոնների խիտ հոսքերի անառաձգական բախումների հավանականությունը բարձր է։ Մետաղի դիսոցացիայի արագությունը հասնում է 20%-40%-ի։ Տիտանի իոններն ավելի հավանական է, որ քիմիապես փոխազդեն ռեակցիայի գազային ազոտի հետ։ Նստեցման արդյունքում ստացվում է նիտրիդային մանտիա թաղանթային շերտ։ Խոռոչ կաթոդային թնդանոթը գոլորշիացման աղբյուր է։ Իոնացման մեկ այլ աղբյուր է։ Ծածկույթի ընթացքում պետք է կարգավորվի նաև հալոցքի շուրջ էլեկտրամագնիսական կծիկի հոսանքը։ Էլեկտրոնային փունջը կենտրոնացրեք փլուզման կենտրոնին։ Այսպիսով, էլեկտրոնային հոսքի հզորության խտությունը մեծանում է։

9. Անջատեք սնուցումը։ Երբ թաղանթի հաստությունը հասնի նախապես որոշված ​​հաստությանը, անջատեք աղեղային սնուցման աղբյուրը, լարման սնուցման աղբյուրը և օդի մատակարարումը։