Ionbevonatgép Az elmélet D. M. Mattox 1960-as években javasolt elméletéből ered, és a kapcsolódó kísérletek is ekkor kezdődtek; 1971-ig Chambers és mások publikálták az elektronsugaras ionbevonás technológiáját; A reaktív párolgásos bevonás (ARE) technológiáját a Bunshah-jelentés mutatta be 1972-ben, amikor szuperkemény filmtípusokat, például TiC-t és TiN-t állítottak elő; Szintén 1972-ben Smith és Molley átvették az üregkatód technológiát a bevonási eljárásban. Az 1980-as évekre az ionbevonás Kínában végre elérte az ipari alkalmazás szintjét, és egymás után jelentek meg olyan bevonási eljárások, mint a vákuumos többíves ionbevonás és az ívkisüléses ionbevonás.
A vákuumion-bevonatolás teljes munkafolyamata a következő: először is,szivattyúa vákuumkamrát, majdVárjona vákuumnyomás 4X10⁻³³ Pa-ravagy jobb, szükséges a nagyfeszültségű tápegység csatlakoztatása és egy alacsony hőmérsékletű plazma terület létrehozása alacsony feszültségű kisülési gázzal a szubsztrát és az elpárologtató között. Csatlakoztasson 5000V DC negatív nagyfeszültséget a szubsztrát elektródához, hogy a katód fénykisülése létrejöjjön. Inert gázionok keletkeznek a negatív fénykisülés közelében. Belépnek a katód sötét területére, és az elektromos mező felgyorsítja őket, majd bombázzák a szubsztrát felületét. Ez egy tisztítási folyamat, majd belépnek a bevonási folyamatba. A bombázási hő hatására egyes bevonóanyagok elpárolognak. A plazma terület belép a protonokba, ütközik az elektronokkal és az inert gázionokkal, és ezek kis része ionizálódik. Ezek a nagy energiájú ionizált ionok bombázzák a film felületét, és bizonyos mértékig javítják a film minőségét.
A vákuumos ionbevonatolás elve a következő: vákuumkamrában, a gázkisülés jelenségét vagy az elpárologtatott anyag ionizált részét felhasználva, az elpárologtatott anyag ionjainak vagy gázionjainak bombázása alatt, ezek az elpárologtatott anyagok vagy reagenseik egyidejűleg rakódnak le az aljzatra, így vékony filmréteget kapnak. Az ionbevonatgépvákuumos párologtatást, plazma technológiát és gázkisülést kombinál, ami nemcsak a film minőségét javítja, hanem a film alkalmazási körét is bővíti. Az eljárás előnyei az erős diffrakció, a jó filmtapadás és a különféle bevonóanyagok. Az ionbevonás elvét először a DM Mattox javasolta. Az ionbevonásnak számos típusa létezik. A leggyakoribb típus a párologtatásos fűtés, beleértve az ellenállásos fűtést, az elektronsugaras fűtést, a plazma elektronsugaras fűtést, a nagyfrekvenciás indukciós fűtést és egyéb fűtési módszereket.
Közzététel ideje: 2023. február 14.