Ki prensip fonksyònman machin plake iyon an?

Kouch iyonmachin Li soti nan teyori DM Mattox te pwopoze a nan ane 1960 yo, epi eksperyans korespondan yo te kòmanse nan moman sa a; Jiska 1971, Chambers ak lòt moun te pibliye teknoloji plake iyon gwo bout bwa elektwon; Teknoloji plake evaporasyon reyaktif (ARE) te mete aksan sou li nan rapò Bunshah an 1972, lè yo te pwodui kalite fim super di tankou TiC ak TiN; Epitou an 1972, Smith ak Molley te adopte teknoloji katod kre nan pwosesis kouch la. Nan ane 1980 yo, plake iyon an nan Lachin te finalman rive nan nivo aplikasyon endistriyèl, epi pwosesis kouch tankou plake iyon milti-ark vakyòm ak plake iyon dechaj ark te parèt youn apre lòt.

Pwosesis konplè pou plake iyon vakyòm lan se jan sa a: premyèman,ponpchanm vakyòm nan, epi apre satannpresyon vakyòm nan rive nan 4X10⁻³ Paoswa pi bon, li nesesè pou konekte ekipman pou pouvwa vòltaj wo a epi konstwi yon zòn plasma tanperati ba ak gaz dechaj vòltaj ba ant substrat la ak evaporatè a. Konekte elektwòd substrat la ak 5000V DC vòltaj negatif wo pou fòme yon dechaj lumineux nan katod la. Iyon gaz inaktif yo pwodui toupre zòn lumineux negatif la. Yo antre nan zòn fènwa katod la epi yo akselere pa chan elektrik la epi bonbade sifas substrat la. Sa a se yon pwosesis netwayaj, epi answit antre nan pwosesis kouch la. Atravè efè chofaj bonbadman an, kèk materyèl plak yo vaporize. Zòn plasma a antre nan pwoton yo, kolizyone ak elektwon ak iyon gaz inaktif, epi yon ti pati nan yo iyonize, Iyon iyonize sa yo ki gen gwo enèji pral bonbade sifas fim nan epi amelyore kalite fim nan nan yon sèten mezi.

Prensip plake iyon vakyòm lan se: nan chanm vakyòm lan, lè l sèvi avèk fenomèn egzeyat gaz la oswa pati iyonize materyèl vaporize a, anba bonbadman iyon materyèl vaporize yo oswa iyon gaz yo, an menm tan depoze sibstans vaporize sa yo oswa reyaktif yo sou substra a pou jwenn yon fim mens. Kouch iyon anmachinLi konbine evaporasyon vakyòm, teknoloji plasma ak egzeyat lumineux gaz, ki pa sèlman amelyore kalite fim nan, men tou elaji ranje aplikasyon fim nan. Avantaj pwosesis sa a se gwo difraksyon, bon adezyon fim, ak divès kalite materyèl kouch. Prensip plakaj iyon an te premye pwopoze pa DM Mattox. Gen anpil kalite plakaj iyon. Kalite ki pi komen an se chofaj evaporasyon, ki gen ladan chofaj rezistans, chofaj gwo bout bwa elektwon, chofaj gwo bout bwa elektwon plasma, chofaj endiksyon wo frekans ak lòt metòd chofaj.