Pwosesis kouch iyon katod kre

Pwosesis kouch iyon katod kre a se jan sa a:

1. Mete lengote Chin yo nan efondreman an.

2. Monte pyès travay la.

3. Apre yo fin mete yon vakyòm a 5 × 10-3Pa, yo mete gaz agon nan chanm kouch la soti nan tib ajan an, epi nivo vakyòm nan se anviwon 100Pa.

4. Limye pouvwa polarizasyon an.

5. Apre ou fin limen kouran ark la pou limen egzeyat katod kre a. Egzeyat lumineux la pwodui nan tib bouton an. Vòltaj egzeyat la se 800 ~ 1000V, Kouran ki ogmante ark la se 30 ~ 50A. Akòz efè katod kre egzeyat lumineux la, dansite kouran egzeyat lumineux ki wo a, dansite iyon rat ki wo nan tib ajan an bonbade miray tib avantaj la. Miray tib la chofe rapidman akòz emisyon koule elektwon an. Mòd egzeyat ki soti nan egzeyat lumineux la chanje sibitman an egzeyat ark. Vòltaj la se 40 ~ 70V, Kouran an se 80 ~ 300A. Tanperati tib ajan an rive pi wo pase 2300K, enkandesan, li emèt yon kouran elektwon ark ki wo nan tib la, epi li tire nan anod la.

6. Ajisteman nivo vakyòm nan. Nivo vakyòm pou egzeyat lumineux ki soti nan zam katod kre a se anviwon 100 Pa, epi degre vakyòm kouch la se 8 × 10-1 ~ 2Pa. Se poutèt sa, apre ignisyon egzeyat ark la, diminye gaz agon k ap rantre a pi vit posib, ajiste nivo vakyòm nan nan yon seri ki apwopriye pou kouch la.

7. Kouch baz plake ak Titàn. Koule elektwon sou lengote metal Chin ki tonbe anodikman, Konvèsyon enèji sinetik an enèji tèmik, Evaporasyon metal Chin pa chofaj, Atòm vapè rive nan pyès la pou fòme yon fim Titàn.

8. Depozisyon TiN. Gaz nitwojèn nan chanm kouch la ap antre. Gaz nitwojèn nan ak atòm evapore yo iyonize an nitwojèn ak iyon Titàn. Anlè kribij la, pwobablite pou atòm vapè Titàn yo fè kolizyon inelastik ak kouran dans elektwon ki ba enèji yo pi wo. To disosyasyon metal la rive jiska 20% ~ 40%. Iyon Titàn yo gen plis chans pou reyaji chimikman ak gaz reyaksyon nitwojèn nan. Depozisyon an fèt pou jwenn yon kouch fim manto nitrid. Kanon katod kre a se yon sous vaporizasyon, yon lòt sous iyonizasyon. Pandan kouch la, yo ta dwe ajiste kouran bobin elektwomayetik ki antoure kribij la tou. Konsantre gwo bout bwa elektwon an nan sant efondreman an. Kidonk, dansite pouvwa koule elektwon an ogmante.

9. Etenn kouran an. Apre epesè fim nan rive nan epesè fim nan predetèmine, etenn ekipman pou pouvwa arc la, ekipman pou pouvwa polarizasyon an ak ekipman pou lè a.