Ionski premazstroj nastao je iz teorije koju je predložio D. M. Mattox 1960-ih, a odgovarajući eksperimenti su započeli u to vrijeme; Do 1971. Chambers i drugi su objavljivali tehnologiju ionskog prevlačenja elektronskim snopom; Tehnologija reaktivnog isparavanja (ARE) istaknuta je u Bunshahovom izvješću 1972., kada su proizvedene supertvrde vrste filmova poput TiC i TiN; Također 1972., Smith i Molley usvojili su tehnologiju šuplje katode u procesu prevlačenja. Do 1980-ih, ionsko prevlačenje u Kini konačno je doseglo razinu industrijske primjene, a postupci prevlačenja poput vakuumskog višelučnog ionskog prevlačenja i ionskog prevlačenja lučnim pražnjenjem su se sukcesivno pojavljivali.
Cijeli proces vakuumskog ionskog nanošenja je sljedeći: prvo,pumpavakuumsku komoru, a zatimčekativakuumski tlak na 4X10⁻³ Paili bolje, potrebno je spojiti visokonaponsko napajanje i izgraditi područje niske temperature plazme niskonaponskog plina za pražnjenje između podloge i isparivača. Spojite elektrodu podloge s negativnim visokim naponom od 5000 V DC kako biste stvorili tinjajući pražnjenje katode. Ioni inertnog plina stvaraju se u blizini negativnog područja tinjanja. Ulaze u tamno područje katode i ubrzavaju se električnim poljem te bombardiraju površinu podloge. To je proces čišćenja, a zatim ulaze u proces premazivanja. Učinkom bombardiranja zagrijavanjem, neki materijali za prevlačenje isparavaju. Područje plazme ulazi u protone, sudara se s elektronima i ionima inertnog plina, a mali dio njih se ionizira. Ovi ionizirani ioni s visokom energijom bombardirat će površinu filma i donekle poboljšati kvalitetu filma.
Princip vakuumskog ionskog nanošenja je sljedeći: u vakuumskoj komori, korištenjem fenomena plinskog pražnjenja ili ioniziranog dijela isparavanog materijala, pod bombardiranjem iona ili plinskih iona isparavanog materijala, te se isparene tvari ili njihovi reaktanti istovremeno talože na podlogu kako bi se dobio tanki film. Ionski premazstrojkombinira vakuumsko isparavanje, plazma tehnologiju i plinsko tinjanje, što ne samo da poboljšava kvalitetu filma, već i proširuje raspon primjene filma. Prednosti ovog postupka su jaka difrakcija, dobro prianjanje filma i različiti materijali za premazivanje. Princip ionskog prevlačenja prvi je predložio DM Mattox. Postoje mnoge vrste ionskog prevlačenja. Najčešći tip je isparavanje, uključujući otporno zagrijavanje, zagrijavanje elektronskim snopom, zagrijavanje plazma elektronskim snopom, visokofrekventno indukcijsko zagrijavanje i druge metode zagrijavanja.
Vrijeme objave: 14. veljače 2023.