खोखले कैथोड आयन कोटिंग की प्रक्रिया

खोखले कैथोड आयन कोटिंग की प्रक्रिया इस प्रकार है:

1、ढहने में चिन सिल्लियां रखो।

2、वर्कपीस को माउंट करना।

3、5×10-3Pa तक खाली करने के बाद, आर्गन गैस को सिल्वर ट्यूब से कोटिंग कक्ष में पेश किया जाता है, और वैक्यूम स्तर लगभग 100Pa होता है।

4、पूर्वाग्रह शक्ति चालू करें।

5, खोखले कैथोड डिस्चार्ज को प्रज्वलित करने के लिए आर्क पावर को चालू करने के बाद। बटन ट्यूब में चमक डिस्चार्ज उत्पन्न होता है, डिस्चार्ज वोल्टेज 800 ~ 1000V है, आर्क-राइजिंग करंट 30 ~ 50A है। ग्लो डिस्चार्ज के खोखले कैथोड प्रभाव के कारण, उच्च चमक डिस्चार्ज करंट घनत्व, सिल्वर ट्यूब में चूहे आयनों का उच्च घनत्व वैंटेज ट्यूब की दीवार पर बमबारी करता है, ट्यूब की दीवार को इलेक्ट्रॉन प्रवाह के उत्सर्जन के लिए तेजी से गर्म करता है, ग्लो डिस्चार्ज से डिस्चार्ज मोड अचानक आर्क डिस्चार्ज में बदल जाता है, वोल्टेज 40 ~ 70V है, करंट 80 ~ 300A है। सिल्वर ट्यूब का तापमान 2300K से ऊपर पहुंच जाता है, तापदीप्त, ट्यूब से आर्क इलेक्ट्रॉनों की एक उच्च घनत्व धारा का उत्सर्जन करता है, और एनोड पर गोली मारता है।

6, वैक्यूम स्तर का समायोजन। खोखले कैथोड बंदूक से चमक निर्वहन के लिए वैक्यूम स्तर लगभग 100 Pa है, और कोटिंग की वैक्यूम डिग्री 8 × 10-1 ~ 2Pa है। इसलिए, चाप निर्वहन की इग्निशन के बाद, जितनी जल्दी हो सके आने वाली आर्गन गैस को कम करें, कोटिंग के लिए उपयुक्त सीमा तक वैक्यूम स्तर को समायोजित करें।

7, टाइटेनियम चढ़ाया आधार परत। एनोडिक रूप से ढह गई चिन धातु पिंड पर इलेक्ट्रॉन प्रवाह, गतिज ऊर्जा का थर्मल ऊर्जा में रूपांतरण, हीटिंग द्वारा चिन धातु का वाष्पीकरण, वाष्प परमाणु एक टाइटेनियम फिल्म बनाने के लिए वर्कपीस तक पहुंचते हैं।

8, TiN का जमाव। नाइट्रोजन गैस को कोटिंग कक्ष में आपूर्ति की जाती है। नाइट्रोजन गैस और वाष्पित परमाणुओं को नाइट्रोजन और टाइटेनियम आयनों में आयनित किया जाता है। क्रूसिबल के ऊपर, कम ऊर्जा वाले इलेक्ट्रॉनों की घनी धाराओं के साथ टाइटेनियम वाष्प परमाणुओं की अकुशल टक्करों की उच्च संभावना। धातु पृथक्करण दर 20% ~ 40% जितनी अधिक है। टाइटेनियम आयनों की प्रतिक्रिया गैस नाइट्रोजन के साथ रासायनिक रूप से प्रतिक्रिया करने की अधिक संभावना है। नाइट्राइड मेंटल फिल्म परत प्राप्त करने के लिए जमाव। खोखली कैथोड गन वाष्पीकरण का एक स्रोत है, आयनीकरण का एक और स्रोत है। कोटिंग के दौरान, क्रूसिबल के चारों ओर विद्युत चुम्बकीय कॉइल का प्रवाह भी समायोजित किया जाना चाहिए। इलेक्ट्रॉन बीम को पतन के केंद्र पर केंद्रित करें। इस प्रकार, इलेक्ट्रॉन प्रवाह की शक्ति घनत्व बढ़ जाती है।

9, बिजली बंद। फिल्म की मोटाई पूर्व निर्धारित फिल्म मोटाई तक पहुंचने के बाद, आर्क बिजली की आपूर्ति, पूर्वाग्रह बिजली की आपूर्ति और वायु आपूर्ति बंद करें।