आईटीओ कोटिंग परिचय

इंडियम टिन ऑक्साइड (इंडियम टिन ऑक्साइड, जिसे आईटीओ के रूप में संदर्भित किया जाता है) एक विस्तृत बैंड गैप, भारी रूप से डोप किए गए एन-प्रकार अर्धचालक पदार्थ हैं, जिनमें उच्च दृश्य प्रकाश संप्रेषण और कम प्रतिरोधकता विशेषताएं हैं, और इस प्रकार सौर कोशिकाओं, फ्लैट पैनल डिस्प्ले, इलेक्ट्रोक्रोमिक विंडोज़, अकार्बनिक और कार्बनिक पतली फिल्म इलेक्ट्रोल्यूमिनेसेंस, लेजर डायोड और पराबैंगनी डिटेक्टरों और अन्य फोटोवोल्टिक उपकरणों आदि में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है। आईटीओ फिल्मों की तैयारी के कई तरीके हैं, जिनमें स्पंदित लेजर जमाव, स्पटरिंग, रासायनिक वाष्प जमाव, स्प्रे थर्मल अपघटन, सोल-जेल, वाष्पीकरण आदि शामिल हैं। वाष्पीकरण विधि में, सबसे अधिक इस्तेमाल किया जाने वाला इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण है।

आईटीओ फिल्म तैयार करने के कई तरीके हैं, जिनमें स्पंदित लेजर जमाव, स्पटरिंग, रासायनिक वाष्प जमाव, स्प्रे पायरोलिसिस, सोल-जेल, वाष्पीकरण आदि शामिल हैं, जिनमें से सबसे अधिक इस्तेमाल किया जाने वाला वाष्पीकरण तरीका इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण है। आईटीओ फिल्मों की वाष्पीकरण तैयारी के आम तौर पर दो तरीके होते हैं: पहला है प्रतिक्रिया वाष्पीकरण के लिए ऑक्सीजन वातावरण में स्रोत सामग्री के रूप में उच्च शुद्धता वाले In, Sn मिश्र धातु का उपयोग करना; दूसरा है प्रत्यक्ष वाष्पीकरण के लिए स्रोत सामग्री के रूप में उच्च शुद्धता वाले In2O3:, SnO2 मिश्रण का उपयोग करना। उच्च संप्रेषण और कम प्रतिरोधकता वाली फिल्म बनाने के लिए आम तौर पर एक उच्च सब्सट्रेट तापमान या फिल्म के बाद के एनीलिंग की आवश्यकता की आवश्यकता होती है। एचआर फल्लाह एट अल ने फिल्म की संरचना, विद्युत और ऑप्टिकल गुणों पर जमाव दर, एनीलिंग तापमान और अन्य प्रक्रिया मापदंडों के प्रभाव का अध्ययन करने के लिए, आईटीओ पतली फिल्मों को जमा करने के लिए कम तापमान पर इलेक्ट्रॉन बीम वाष्पीकरण विधि का इस्तेमाल किया। उन्होंने बताया कि जमाव की दर कम करने से संप्रेषण बढ़ सकता है और कम तापमान पर उगाई गई फिल्मों की प्रतिरोधकता कम हो सकती है। दृश्य प्रकाश का संप्रेषण 92% से अधिक है, और प्रतिरोधकता 7X10-4Ωcm है। उन्होंने 350 ~ 550 ℃ के कमरे के तापमान पर उगाई गई आईटीओ फिल्मों को एनील किया, और पाया कि एनीलिंग तापमान जितना अधिक होगा, आईटीओ फिल्मों का क्रिस्टलीय गुण उतना ही बेहतर होगा। 550 ℃ पर एनीलिंग के बाद फिल्मों का दृश्य प्रकाश संप्रेषण 93% है, और अनाज का आकार लगभग 37nm है। प्लाज्मा-सहायता प्राप्त विधि फिल्म निर्माण के दौरान सब्सट्रेट के तापमान को भी कम कर सकती है, जो फिल्म के निर्माण में सबसे महत्वपूर्ण कारक है, और क्रिस्टलीयता भी सबसे महत्वपूर्ण है। प्लाज्मा-सहायता प्राप्त विधि फिल्म निर्माण के दौरान सब्सट्रेट के तापमान को भी कम कर सकती बहुत कम है, 5*10-”Ωcm, और 550nm पर प्रकाश का अवशोषण 5% से कम है, और फिल्म की प्रतिरोधकता और ऑप्टिकल बैंडविड्थ भी जमाव के दौरान ऑक्सीजन के दबाव को बदलकर बदल जाती है।

-यह लेख द्वारा जारी किया गया हैवैक्यूम कोटिंग मशीन निर्मातागुआंग्डोंग झेंहुआ