આયન કોટિંગમશીન ૧૯૬૦ના દાયકામાં ડીએમ મેટોક્સ દ્વારા પ્રસ્તાવિત સિદ્ધાંતમાંથી ઉદ્ભવ્યું હતું, અને તે સમયે અનુરૂપ પ્રયોગો શરૂ થયા હતા; ૧૯૭૧ સુધી, ચેમ્બર્સ અને અન્ય લોકોએ ઇલેક્ટ્રોન બીમ આયન પ્લેટિંગની ટેકનોલોજી પ્રકાશિત કરી હતી; ૧૯૭૨માં બુનશાહ રિપોર્ટમાં પ્રતિક્રિયાશીલ બાષ્પીભવન પ્લેટિંગ (ARE) ટેકનોલોજીનો ઉલ્લેખ કરવામાં આવ્યો હતો, જ્યારે TiC અને TiN જેવા સુપર-હાર્ડ ફિલ્મ પ્રકારોનું ઉત્પાદન કરવામાં આવ્યું હતું; ૧૯૭૨માં પણ, સ્મિથ અને મોલીએ કોટિંગ પ્રક્રિયામાં હોલો કેથોડ ટેકનોલોજી અપનાવી હતી. ૧૯૮૦ના દાયકા સુધીમાં, ચીનમાં આયન પ્લેટિંગ આખરે ઔદ્યોગિક એપ્લિકેશનના સ્તરે પહોંચી ગયું હતું, અને વેક્યુમ મલ્ટી-આર્ક આયન પ્લેટિંગ અને આર્ક-ડિસ્ચાર્જ આયન પ્લેટિંગ જેવી કોટિંગ પ્રક્રિયાઓ ક્રમિક રીતે દેખાઈ હતી.
વેક્યુમ આયન પ્લેટિંગની સમગ્ર કાર્ય પ્રક્રિયા નીચે મુજબ છે: પ્રથમ,પંપવેક્યુમ ચેમ્બર, અને પછીરાહ જુઓ4X10 ⁻ ³ Pa સુધી શૂન્યાવકાશ દબાણઅથવા વધુ સારું, ઉચ્ચ વોલ્ટેજ પાવર સપ્લાયને જોડવું અને સબસ્ટ્રેટ અને બાષ્પીભવન કરનાર વચ્ચે ઓછા વોલ્ટેજ ડિસ્ચાર્જ ગેસનો નીચા તાપમાનનો પ્લાઝ્મા વિસ્તાર બનાવવો જરૂરી છે. કેથોડનો ગ્લો ડિસ્ચાર્જ બનાવવા માટે સબસ્ટ્રેટ ઇલેક્ટ્રોડને 5000V DC નેગેટિવ હાઇ વોલ્ટેજ સાથે જોડો. નકારાત્મક ગ્લો વિસ્તારની નજીક નિષ્ક્રિય ગેસ આયનો ઉત્પન્ન થાય છે. તેઓ કેથોડ ડાર્ક વિસ્તારમાં પ્રવેશ કરે છે અને ઇલેક્ટ્રિક ક્ષેત્ર દ્વારા ઝડપી બને છે અને સબસ્ટ્રેટની સપાટી પર બોમ્બમારો કરે છે. આ એક સફાઈ પ્રક્રિયા છે, અને પછી કોટિંગ પ્રક્રિયામાં પ્રવેશ કરે છે. બોમ્બમાર્ડમેન્ટ હીટિંગની અસર દ્વારા, કેટલીક પ્લેટિંગ સામગ્રી બાષ્પીભવન થાય છે. પ્લાઝ્મા વિસ્તાર પ્રોટોનમાં પ્રવેશ કરે છે, ઇલેક્ટ્રોન અને નિષ્ક્રિય ગેસ આયનો સાથે અથડાય છે, અને તેમાંથી એક નાનો ભાગ આયનાઇઝ્ડ થાય છે, ઉચ્ચ ઊર્જાવાળા આ આયનાઇઝ્ડ આયનો ફિલ્મ સપાટી પર બોમ્બમારો કરશે અને ફિલ્મની ગુણવત્તામાં કંઈક અંશે સુધારો કરશે.
વેક્યુમ આયન પ્લેટિંગનો સિદ્ધાંત છે: વેક્યુમ ચેમ્બરમાં, ગેસ ડિસ્ચાર્જ ઘટના અથવા બાષ્પીભવન કરાયેલ પદાર્થના આયનાઇઝ્ડ ભાગનો ઉપયોગ કરીને, બાષ્પીભવન કરાયેલ પદાર્થ આયનો અથવા ગેસ આયનોના બોમ્બમારા હેઠળ, આ બાષ્પીભવન કરાયેલ પદાર્થો અથવા તેમના પ્રતિક્રિયાકર્તાઓને સબસ્ટ્રેટ પર એકસાથે જમા કરીને પાતળી ફિલ્મ મેળવે છે. આયન કોટિંગમશીનવેક્યુમ બાષ્પીભવન, પ્લાઝ્મા ટેકનોલોજી અને ગેસ ગ્લો ડિસ્ચાર્જને જોડે છે, જે ફક્ત ફિલ્મની ગુણવત્તામાં સુધારો કરતું નથી, પરંતુ ફિલ્મની એપ્લિકેશન શ્રેણીને પણ વિસ્તૃત કરે છે. આ પ્રક્રિયાના ફાયદા મજબૂત વિવર્તન, સારી ફિલ્મ સંલગ્નતા અને વિવિધ કોટિંગ સામગ્રી છે. આયન પ્લેટિંગનો સિદ્ધાંત સૌપ્રથમ ડીએમ મેટોક્સ દ્વારા પ્રસ્તાવિત કરવામાં આવ્યો હતો. આયન પ્લેટિંગના ઘણા પ્રકારો છે. સૌથી સામાન્ય પ્રકાર બાષ્પીભવન ગરમી છે, જેમાં પ્રતિકાર ગરમી, ઇલેક્ટ્રોન બીમ ગરમી, પ્લાઝ્મા ઇલેક્ટ્રોન બીમ ગરમી, ઉચ્ચ-આવર્તન ઇન્ડક્શન ગરમી અને અન્ય ગરમી પદ્ધતિઓનો સમાવેશ થાય છે.
પોસ્ટ સમય: ફેબ્રુઆરી-૧૪-૨૦૨૩

