Còmhdach ianinneal Thàinig e bhon teòiridh a mhol DM Mattox anns na 1960an, agus thòisich deuchainnean co-fhreagarrach aig an àm sin; Gus 1971, dh’fhoillsich Chambers agus feadhainn eile teicneòlas plating ian beam electron; Chaidh teicneòlas plating vaporization reactive (ARE) a chomharrachadh ann an aithisg Bunshah ann an 1972, nuair a chaidh seòrsachan film cruaidh leithid TiC agus TiN a thoirt gu buil; Cuideachd ann an 1972, ghabh Smith agus Molley ris an teicneòlas catod falamh sa phròiseas còmhdaich. Ro na 1980an, bha am plating ian ann an Sìona mu dheireadh air ruighinn ìre an tagraidh gnìomhachais, agus nochd na pròiseasan còmhdaich leithid plating ian ioma-arc falamh agus plating ian sgaoileadh-arc às dèidh a chèile.
Seo mar a leanas am pròiseas obrach gu lèir airson platadh ian falamh: an toiseach,pumpaan seòmar falamh, agus an uairsinfeitheamhan cuideam falamh gu 4X10 ⁻³ Pano nas fheàrr, tha e riatanach an solar cumhachd àrd-bholtachd a cheangal agus raon plasma ìosal-teòthachd de ghas sgaoilidh ìosal-bholtachd a thogail eadar an t-substrate agus an evaporator. Ceangail electrode an t-substrate le bholtadh àrd àicheil 5000V DC gus sgaoileadh gleansach a chruthachadh den chatod. Bidh ianan gas neo-ghnìomhach air an gineadh faisg air an raon gleansach àicheil. Bidh iad a’ dol a-steach don raon dorcha catod agus air an luathachadh leis an raon dealain agus a’ bomadh uachdar an t-substrate. Is e pròiseas glanaidh a tha seo, agus an uairsin a’ dol a-steach don phròiseas còmhdach. Tro bhuaidh teasachaidh bomadh, bidh cuid de stuthan plating air an ceòthachadh. Bidh an raon plasma a’ dol a-steach do na protonan, a’ bualadh ri dealanan agus ianan gas neo-ghnìomhach, agus tha pàirt bheag dhiubh air an ianachadh, Bidh na h-ianan ianaichte seo le lùth àrd a’ bomadh uachdar an fhilm agus a’ leasachadh càileachd an fhilm gu ìre.
Is e prionnsabal platadh ian falamh: anns an t-seòmar falamh, a’ cleachdadh an iongantas sgaoilidh gas no am pàirt ianaichte den stuth smùidichte, fo bhomadh nan ianan stuth smùidichte no ianan gas, bidh na stuthan smùidichte sin no na reactants aca air an t-substrate aig an aon àm gus film tana fhaighinn. An còmhdach ianinneala’ cothlamadh falmhachadh falamh, teicneòlas plasma agus sgaoileadh deàrrsadh gas, a leasaicheas chan e a-mhàin càileachd an fhilm, ach a leudaicheas raon tagraidh an fhilm cuideachd. Is e buannachdan a’ phròiseis seo diffraction làidir, deagh ghreamachadh film, agus diofar stuthan còmhdaich. Chaidh prionnsapal plating ian a mholadh an toiseach le DM Mattox. Tha iomadh seòrsa de plating ian ann. Is e teasachadh falmhachaidh an seòrsa as cumanta, a’ gabhail a-steach teasachadh an aghaidh, teasachadh beam electron, teasachadh beam electron plasma, teasachadh inntrigidh àrd-tricead agus dòighean teasachaidh eile.
Àm puist: 14 Gearran 2023