'S e stuth leth-chonnsachaidh seòrsa-n le beàrn còmhlan farsaing a th' ann an ogsaid staoin indium (ogsaid staoin indium, ris an canar ITO) le mòran dopaidh, le tar-chuir solais faicsinneach àrd agus feartan strì an aghaidh ìosal, agus mar sin air a chleachdadh gu farsaing ann an ceallan grèine, taisbeanaidhean pannal còmhnard, uinneagan electrochromic, electroluminescence film tana neo-organach agus organach, diodes laser agus lorgairean ultraviolet agus innealan photovoltaic eile, msaa. Tha mòran dhòighean ann airson filmichean ITO ullachadh, a' gabhail a-steach tasgadh laser cuisleach, sputtering, tasgadh smùid ceimigeach, lobhadh teirmeach spraeraidh, sol-gel, falmhachadh, msaa. Am measg nan dòighean falmhachaidh, is e falmhachadh beam electron as cumanta.
Tha iomadh dòigh ann airson film ITO ullachadh, a’ gabhail a-steach tasgadh leusair cuisleach, sputtering, tasgadh smùid ceimigeach, pyrolysis spraeraidh, sol-gel, falmhachadh agus mar sin air adhart, agus is e falmhachadh beam electron an dòigh falmhachaidh as cumanta. Mar as trice tha dà dhòigh ann airson ullachadh falmhachaidh fhilmichean ITO: is e aon dhiubh a bhith a’ cleachdadh aloidh In, Sn àrd-ghlan mar an stuth tùsail, ann an àile ocsaidean airson an ath-bhualadh falmhachaidh; is e an dàrna fear a bhith a’ cleachdadh measgachadh In2O3:, SnO2 àrd-ghlan mar an stuth tùsail airson falmhachadh dìreach. Gus am film a dhèanamh le tar-chuir àrd agus strì an aghaidh ìosal, mar as trice bidh feum air teòthachd an t-substrate nas àirde no an fheum air annealing an fhilm às deidh sin. Chleachd HR Fallah et al. an dòigh falmhachaidh beam electron aig teòthachd ìosal gus filmichean tana ITO a thasgadh, gus buaidh an ìre tasgaidh, teòthachd annealing agus paramadairean pròiseas eile air structar an fhilm, feartan dealain agus optigeach a sgrùdadh. Chomharraich iad gum faodadh lughdachadh an ìre tasgaidh an tar-chuir àrdachadh agus strì an aghaidh nam filmichean a chaidh fhàs aig teòthachd ìosal a lùghdachadh. Tha tar-chur solais fhaicsinneach nas motha na 92%, agus tha an aghaidh-strì 7X10-4Ωcm. Rinn iad teineachadh air na filmichean ITO a chaidh fhàs aig teòthachd an t-seòmair aig 350 ~ 550 ℃, agus fhuair iad a-mach, mar as àirde an teòthachd teineachaidh, ’s ann as fheàrr a bhios feartan criostalach nam filmichean ITO. Tha tar-chur solais fhaicsinneach nam filmichean às deidh teineachadh aig 550 ℃ 93%, agus tha meud a’ ghràin mu 37nm. Faodaidh an dòigh le taic plasma teòthachd an t-substrate a lughdachadh cuideachd rè cruthachadh film, agus is e sin am bàillidh as cudromaiche ann an cruthachadh am film, agus ’s e an criostalachd an rud as cudromaiche cuideachd. Faodaidh an dòigh le taic plasma teòthachd an t-substrate a lughdachadh cuideachd rè cruthachadh film, agus tha deagh choileanadh aig an fhilm ITO a gheibhear bhon tasgadh. Tha aghaidh-strì an fhilm ITO air ullachadh le S. Laux et al. Tha e glè ìosal, 5 * 10-” Ωcm, agus tha gabhail a-steach solais aig 550nm nas lugha na 5%, agus tha strì an fhilm agus an leud-bann optigeach cuideachd air an atharrachadh le bhith ag atharrachadh cuideam ocsaidean rè an tasgadh.
–Tha an t-artaigil seo air fhoillseachadh leneach-dèanamh inneal còmhdach falamhGuangdong Zhenhua
Àm puist: 23 Màrt 2024