Sciath ianmeaisín tháinig sé ón teoiric a mhol DM Mattox sna 1960idí, agus cuireadh tús le turgnaimh chomhfhreagracha ag an am sin; Go dtí 1971, d'fhoilsigh Chambers agus daoine eile teicneolaíocht phlátála ian leictreon-bhíoma; Luadh an teicneolaíocht phlátála galúcháin imoibríoch (ARE) i dtuarascáil Bunshah i 1972, nuair a táirgeadh cineálacha scannán sár-chrua ar nós TiC agus TiN; Chomh maith leis sin i 1972, ghlac Smith agus Molley leis an teicneolaíocht catóide log sa phróiseas sciath. Faoi na 1980idí, bhí an phlátáil ian sa tSín tar éis leibhéal an fheidhmchláir thionsclaíoch a bhaint amach faoi dheireadh, agus bhí na próisis sciath ar nós plátáil ian il-stua i bhfolús agus plátáil ian urscaoilte stua le feiceáil i ndiaidh a chéile.
Seo a leanas an próiseas oibre iomlán maidir le plátáil ian folúis: ar dtús,caidéalan seomra folúis, agus ansinfanachtan brú folúis go 4X10 ⁻ ³ Panó níos fearr, is gá an soláthar cumhachta ardvoltais a nascadh agus limistéar plasma ísealteochta de ghás urscaoilte ísealvoltais a thógáil idir an tsubstráit agus an galaitheoir. Ceangail leictreoid an tsubstráit le hardvoltas diúltach 5000V DC chun urscaoileadh lonrach a chruthú ón gcatóid. Gintear iain gháis támha in aice leis an limistéar lonrach diúltach. Téann siad isteach sa limistéar dorcha catóide agus luasghéaraíonn an réimse leictreach iad agus buamálann siad dromchla an tsubstráit. Is próiseas glantacháin é seo, agus ansin téann siad isteach sa phróiseas sciath. Trí éifeacht an téimh bhuamála, galaítear roinnt ábhar plátála. Téann an limistéar plasma isteach sna prótóin, imbhuaileann sé le leictreoin agus le hiain gháis támha, agus déantar cuid bheag díobh a ianú. Buamálfaidh na hiain ianaithe seo le fuinneamh ard dromchla an scannáin agus feabhsóidh siad cáilíocht an scannáin go pointe áirithe.
Is é prionsabal an phlátála ian folúis ná: sa seomra folúis, ag baint úsáide as feiniméan urscaoilte gáis nó an chuid ianaithe den ábhar galaithe, faoi bhuamáil na n-ian ábhair galaithe nó na n-ian gáis, taisctear na substaintí galaithe seo nó a n-imoibrithe ag an am céanna ar an tsubstráit chun scannán tanaí a fháil. An sciath ianmeaisíncomhcheanglaíonn sé galú folúis, teicneolaíocht plasma agus urscaoileadh gáis lonrúil, rud a fheabhsaíonn cáilíocht an scannáin ní hamháin, ach a leathnaíonn raon feidhme an scannáin freisin. Is iad na buntáistí a bhaineann leis an bpróiseas seo ná difreáil láidir, greamaitheacht mhaith scannáin, agus ábhair sciath éagsúla. Moladh prionsabal an phlátála ian ar dtús ag DM Mattox. Tá go leor cineálacha plátála ian ann. Is é an cineál is coitianta ná téamh galúcháin, lena n-áirítear téamh friotaíochta, téamh bhíoma leictreon, téamh bhíoma leictreon plasma, téamh ionduchtaithe ardmhinicíochta agus modhanna téimh eile.
Am an phoist: 14 Feabhra 2023