Is ábhar leathsheoltóra cineál-n atá dópáilte go mór é ocsaíd stáin indiam (Ocsaíd Stáin Indiam, dá ngairtear ITO) atá ina bhearna bhanda leathan, agus a bhfuil tréithe tarchurtha solais infheicthe ard agus friotaíochta ísle acu. Dá bhrí sin, úsáidtear go forleathan é i gcealla gréine, i dtaispeántais painéil chomhréidh, i bhfuinneoga leictreacrómacha, i leictrealonrúil scannáin tanaí neamhorgánacha agus orgánacha, i ndiodanna léasair agus i mbrathadóirí ultraivialait agus i bhfeistí fótavoltach eile, etc. Tá go leor modhanna ann chun scannáin ITO a ullmhú, lena n-áirítear taisceadh léasair cuisleach, spútaradh, taisceadh gaile ceimiceach, dianscaoileadh teirmeach spraeála, glóthach sol, galú, etc. I measc na modhanna galúcháin, is é galú bhíoma leictreon an ceann is coitianta a úsáidtear.
Tá go leor bealaí ann chun scannán ITO a ullmhú, lena n-áirítear taisceadh léasair cuisleach, spútaradh, taisceadh gaile ceimiceach, pirilís spraeála, glóthach sol, galú agus mar sin de, agus is é an modh galúcháin is coitianta ná galú leictreon. De ghnáth bíonn dhá bhealach ann chun scannáin ITO a ullmhú le galú: ceann amháin ná cóimhiotal ard-íonachta In, Sn a úsáid mar an ábhar foinse, san atmaisféar ocsaigine le haghaidh an imoibrithe galúcháin; an dara ceann ná meascán ard-íonachta In2O3:, SnO2 a úsáid mar an ábhar foinse le haghaidh galú díreach. Chun an scannán a dhéanamh le tarchur ard agus friotaíocht íseal, bíonn teocht foshraithe níos airde ag teastáil de ghnáth nó bíonn gá le hainliú ina dhiaidh sin ar an scannán. Bhain HR Fallah et al. úsáid as an modh galúcháin leictreon ag teochtaí ísle chun scannáin tanaí ITO a thaisceadh, chun staidéar a dhéanamh ar éifeacht an ráta taiscthe, na teochta hainlithe agus paraiméadair phróisis eile ar struchtúr an scannáin, airíonna leictreacha agus optúla. Thug siad le fios go bhféadfadh laghdú ar an ráta taiscthe an tarchur a mhéadú agus friotaíocht na scannán a fhástar ag teocht íseal a laghdú. Tá tarchur solais infheicthe níos mó ná 92%, agus is é 7X10-4Ωcm an fhriotaíocht. Rinne siad na scannáin ITO a fhásadh ag teocht an tseomra ag 350~550℃ a ath-annealú, agus fuarthas amach gurb amhlaidh is airde an teocht ath-annealaithe, is amhlaidh is fearr airíonna criostalach na scannán ITO. Is é 93% tarchur solais infheicthe na scannán tar éis ath-annealaithe ag 550℃, agus tá méid an ghráin thart ar 37nm. Is féidir leis an modh le cúnamh plasma teocht an tsubstráit a laghdú freisin le linn foirmiú scannáin, arb é an fachtóir is tábhachtaí i bhfoirmiú an scannáin, agus is í an criostalachas an ceann is tábhachtaí freisin. Is féidir leis an modh le cúnamh plasma teocht an tsubstráit a laghdú freisin le linn foirmiú scannáin, agus tá feidhmíocht mhaith ag an scannán ITO a fhaightear ón taisceadh. Tá friotaíocht an scannáin ITO ullmhaithe ag S. Laux et al. an-íseal, 5*10-”Ωcm, agus tá ionsú solais ag 550nm níos lú ná 5%, agus athraítear friotaíocht an scannáin agus an bandaleithead optúil freisin trí bhrú an ocsaigine a athrú le linn an taiscthe.
–Tá an t-alt seo eisithe agmonaróir meaisín sciath folúisGuangdong Zhenhua
Am an phoist: 23 Márta 2024