Ionencoatingmasine ûntstie út 'e teory foarsteld troch DM Mattox yn 'e jierren 1960, en oerienkommende eksperiminten begûnen doe; Oant 1971 publisearren Chambers en oaren de technology fan elektronenstriel-ionplating; De reaktive ferdampingplating (ARE) technology waard oanjûn yn it Bunshah-rapport yn 1972, doe't superhurde filmtypen lykas TiC en TiN produsearre waarden; Ek yn 1972 namen Smith en Molley de holle katodetechnology oan yn it coatingproses. Tsjin 'e jierren 1980 hie it ionplating yn Sina einlings it nivo fan yndustriële tapassing berikt, en de coatingprosessen lykas fakuüm multi-bôge-ionplating en bôge-ûntlading-ionplating wiene efterinoar ferskynd.
It hiele wurkproses fan fakuüm-ionplating is as folget: earst,pompde fakuümkeamer, en danwachtsjede fakuümdruk nei 4X10 ⁻ ³ Paof better, is it nedich om de hege spanningsfoarsjenning oan te sluten en in leechtemperatuerplasmagebiet fan leechspanningsûntladingsgas te bouwen tusken it substraat en de ferdamper. Ferbine de substraatelektrode mei 5000V DC negative hege spanning om in gloeiûntlading fan 'e katode te foarmjen. Inerte gasionen wurde generearre tichtby it negative gloeigebiet. Se komme it katode-donkere gebiet yn en wurde fersneld troch it elektryske fjild en bombardearje it oerflak fan it substraat. Dit is in skjinmeitsproses, en geane dan yn it coatingproses. Troch it effekt fan bombardemintferwaarming wurde guon platingmaterialen ferdampt. It plasmagebiet komt yn 'e protonen, botst mei elektroanen en inerte gasionen, en in lyts part dêrfan wurdt ionisearre. Dizze ionisearre ioanen mei hege enerzjy sille it filmoerflak bombardearje en de filmkwaliteit yn in beskate mjitte ferbetterje.
It prinsipe fan fakuüm-ionplating is: yn 'e fakuümkeamer, mei it gasûntladingsferskynsel of it ionisearre diel fan it ferdampte materiaal, ûnder it bombardemint fan 'e ferdampte materiaal-ionen of gas-ionen, wurde dizze ferdampte stoffen of har reaktanten tagelyk op it substraat ôfset om in tinne film te krijen. De ioncoatingmasinekombinearret fakuümferdamping, plasmatechnology en gasgloei-ûntlading, wat net allinich de filmkwaliteit ferbetteret, mar ek it tapassingsgebiet fan 'e film útwreidet. De foardielen fan dit proses binne sterke diffraksje, goede filmadhesion, en ferskate coatingmaterialen. It prinsipe fan ionplating waard earst foarsteld troch DM Mattox. D'r binne in protte soarten ionplating. It meast foarkommende type is ferdampingsferwaarming, ynklusyf wjerstânsferwaarming, elektronenstraalferwaarming, plasma-elektronenstraalferwaarming, hege-frekwinsje ynduksjeferwaarming en oare ferwaarmingsmetoaden.
Pleatsingstiid: 14 febrewaris 2023