Proses fan holle katode-ioncoating

It proses fan holle katode-ioncoating is as folget:

1. Set Chin-barren yn 'e ynstoarting.

2. It wurkstik ynstalleare.

3. Nei it evakuearjen nei 5 × 10-3Pa wurdt argongas yn 'e coatingkeamer ynfierd út' e sulveren buis, en it fakuümnivo is om de 100Pa hinne.

4. Skeakelje de bias-krêft yn.

5. Nei it ynskeakeljen fan 'e bôgekrêft om de holle katode-ûntlading te ûntstekken. De gloei-ûntlading wurdt generearre yn 'e knopbuis, de ûntladingsspanning is 800 ~ 1000V, de bôge-opwekkende stroom is 30 ~ 50A. Fanwegen it holle katode-effekt fan gloei-ûntlading, hege gloei-ûntladingsstroomtichtens, de hege tichtheid fan rat-ionen yn 'e sulveren buis bombardearret de muorre fan' e vantage-buis, wêrtroch't de buiswand rap opwaarmt foar de útstjit fan elektronstream, de ûntladingsmodus fan 'e gloei-ûntlading feroaret ynienen yn bôge-ûntlading, de spanning is 40 ~ 70V, de stroom is 80 ~ 300A. De temperatuer fan 'e sulveren buis berikt boppe 2300K, gloeiend, stjoert in hege tichtheid fan bôge-elektronen út 'e buis, en sketten nei de anode.

6. Oanpassing fan it fakuümnivo. It fakuümnivo foar glimûntlading fan it holle katodegewear is sawat 100 Pa, en de fakuümgraad fan coating is 8 × 10-1 ~ 2 Pa. Dêrom, nei it ûntstekken fan 'e bôgeûntlading, ferminderje it ynkommende argongas sa gau mooglik, oanpasse it fakuümnivo oan in berik dat geskikt is foar coating.

7. Titanium-plated basislaach. Elektroanen streame op 'e anodysk ynstoarte Chin-metaalbar, Konverzje fan kinetyske enerzjy nei termyske enerzjy, Ferdamping fan Chin-metaal troch ferwaarming, Dampatomen berikke it wurkstik om in titaniumfilm te foarmjen.

8. Ofsetting fan TiN. Stikstofgas wurdt oan 'e coatingkeamer levere, Stikstofgas en ferdampte atomen wurde ionisearre yn stikstof- en titaniumioanen. Boppe de kroes is de kâns op inelastyske botsingen fan titaniumdampatomen mei tichte streamen fan leech-enerzjyelektronen grutter. De metaaldissosiaasjesnelheid is sa heech as 20% ~ 40%. Titaniumioanen reagearje faker gemysk mei it reaksjegasstikstof. Ofsetting om in nitridemantelfilmlaach te krijen. It holle katodegewear is sawol in ferdampingsboarne as in oare boarne fan ionisaasje. Tidens it coaten moat de stroom fan 'e elektromagnetyske spoel om 'e kroes ek oanpast wurde. Fokus de elektronenstriel op it sintrum fan 'e ynstoarting, sadat de krêfttichtens fan 'e elektronenstream fergrutte wurdt.

9. Utskeakelje. Nei't de filmdikte de foarôf bepaalde filmdikte berikt hat, skeakelje de bôge-stroomfoarsjenning, bias-stroomfoarsjenning en loftfoarsjenning út.